순간증착법에 의한 TiNiCu 형상기억합금 마이크로 액추에이터

전문가 제언

저자

Takashi Mineta, Kouji Kasai, Yuki Sasaki, Eiji Makino, Takahiro Kawashima, Takayuki Shibata

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2009

권(호)

86

잡지명

Microelectronic Engineering

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

1274~1277

분석자

박*준

분석물

• 순간증착법에 의한 TiNiCu 형상기억합금 마이크로 액추에이터.pdf [305,419 byte]

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