마이크로포커스 X선원과 그 응용기술

전문가 제언

○ 마이크로포커스 X-선원 화상으로 실시간 체크하는 시스템은 최첨단 비파괴검사 방법 중 하나로 각광을 받고 있는 시스템이다. 이 첨단 시스템을 이용하여 금속, 플라스틱, 세라믹 패키지에 있는 보이딩(voiding), 공극률(porosity), 와이어 본딩(bonding), 내부 실링, 결합점 등과 같이 보이지 않는 부문의 특징을 분석할 수 있다.

○ 검사하고자 하는 물체를 X-선원과 검출기 사이에 있는 샘플 조작기(manipulator)에 놓은 후 작동시키면 샘플을 통과한 X선은 화상증강장치의 신틸레이터(scintillator: X레이가 조사되면 발광하는 물질) 플레이트에 도달하게 되고 이 가시광선은 고분해능 CCD 화상카메라에 의해 수집된다. 샘플은 앞면에 있는 창을 통해 관찰하여 모니터에서 동화상을 보면서 조정하여 샘플을 적당한 위치에서 분석할 수 있다.

○ X선 방사선은 검사하고자 하는 물체와 용도에 따라 X선원을 선택하여야 하는데 선택할 수 있는 X선원은 미니포커스 X선원, 회전양극 X선원, 마이크로포커스 X선원 그리고 선형가속기가 있다. 미니포커스와 마이크로포커스 X선원은 초점의 크기에 따른 분류인데, 미니포커스는 모두 밀폐형식이고 마이크로포커스는 밀폐형식과 개방형식이 있다. 또한 미니포커스의 밀폐형식 중에는 일반적인 비파괴검사에 많이 사용되는 타깃을 고정시키는 고정양극 형식과 의료진단에 이용되고 있는 회전양극 형식이 있다.

○ 우리나라의 마이크로 X선 화상시스템으로는 최근 산업체의 품질관리나 연구개발에 이용되고 있는 PANTAK(@)시스템이 있는데 이 시스템은 밀폐포커스 형으로 10μm의 분해능을 가지고 있으며 더 높은 해상도에 이용되는 5μm 포커스 크기도 있다. 그 외에도 핵연료 입자 코팅 두께를 비파괴로 측정하는 마이크로포커스 X선 투과영상 시스템이 있다.

○ 이와 같이 국내외에서 모두 마이크로포커스 X선원의 응용기술이 다른 X선원에 비해 발달해 있고 산업분야나 방사선사진 부문에서 많이 이용되고 있다. 향후 이에 대한 연구가 더욱 진행되어 전자기기나 반도체 분야 및 의료분야의 비파괴검사에 활용되기를 기대하는 바이다.

저자

Masashi Fujii

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2009

권(호)

58(6)

잡지명

非破壞檢査

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

214~218

분석자

오*섭

분석물

• 마이크로포커스 X선원과 그 응용기술.pdf [430,194 byte]

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