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폴리실리콘을 이용한 나노필름 압력센서

전문가 제언
저자
Ziaowei Liu, et al.
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2009
권(호)
154
잡지명
Sensors and Actuators A: Physical
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
42~45
분석자
박*선
분석물
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