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MEMS용 웨이퍼레벨 박막 캡슐

전문가 제언
저자
Conor O'Mahony et al.
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2009
권(호)
86
잡지명
Microelectronic Engineering
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
1311~1313
분석자
박*선
분석물
목록
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