금속 게이트, 고-k 유전체, 금속 소스/드레인을 가진 22nm 노드의 자기 정렬 평면 이중 게이트 MOSFET

전문가 제언

저자

Vinet, Maud, et.al.

자료유형

연구단신

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2009

권(호)

30(7)

잡지명

IEEE Electron Device Letters

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

748~750

분석자

황*룡

분석물

• 금속 게이트, 고-k 유전체, 금속 소스,드레인을 가진 22nm 노드의 자기 정렬 평면 이중 게이트 MOSFET.pdf [312,770 byte]

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