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MEMS의 신뢰성 문제

전문가 제언
저자
TANNER D.M.
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2009
권(호)
49
잡지명
Microelectronics Reliability
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
937~940
분석자
박*선
분석물
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