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HWCVD에 의한 실리콘 태양전지용 SiN 및 실리콘 반도체 박막의 초고속 증착

전문가 제언
저자
R.E.I. Schropp et al
자료유형
연구단신
원문언어
영어
기업산업분류
화학·화공
연도
2009
권(호)
517
잡지명
Thin Solid Films
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
3039~3042
분석자
변*호
분석물
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