MEMS와 세라믹스

전문가 제언

○ 세라믹스는 금속재료나 고분자재료와 비교해서 일반적으로 내식성이나 내열성이 우수하다. 따라서 열악한 환경 속에서 사용하는 마이크로머신용 구조재료나 기능재료는 주로 세라믹스를 이용한다. 이때 세라믹스를 가공하기 위해서는 증착이나 에칭과 같은 특수한 장비를 사용하는 요소기술이 필요하다.

○ MEMS 기술을 이용한 장치 중에서 대량생산이 가능한 제품은 휴대폰의 경우는 고주파나 광통신 부품이나 모듈 등이 있고, 디지털 카메라의 경우는 마이크로 모터, 이미지 센서와 손 떨림 보정장치인 자이로 센서 등이 있다. 자동차의 경우는 본 논문에 소개된 유량센서 외에 안전성을 향상시키는 압력센서나 가속도 센서 및 에어백용 센서 등이 있다.

○ 우리나라는 MEMS 기술분야의 후발국이지만 대량생산이 가능한 제품에 대해서는 여러 벤처기업들이 관심을 가지고 연구 개발 중이다. 그러나 이들 제품의 용도상 매우 중요한 품질보증이 어렵고 다품종인 경우가 많아서 표준화하기 어려운 특징이 있다. 따라서 아직도 대부분의 제품을 수입에 의존하고 있다.

○ 최근에는 대기업 산하의 연구기관과 벤처기업은 국가 프로젝트사업의 일환으로 바이오 및 의료분야에 활발한 연구 활동을 보이고 있다. 즉 캡슐형 내시경이나 바이오칩과 같이 앞으로 사업성이 있을 것으로 예상하는 제품개발에 진력하고 있다. 또 한국전자통신연구원(ETRI)에서는 마이크로 유량센서, 미세 유량용 마이크로펌프 등을 개발하는데 성공한 바 있다.

○ MEMS 기술은 현재 사용되고 있는 자동차나 전자통신 산업분야뿐만 아니라 정밀기계, 항공우주, 에너지 환경 등 다양한 분야에 적용 될 것이다. 특히 의료 및 바이오 산업분야로 응용되면 시장이 대규모로 확대 될 것으로 기대한다.

저자

Masayoshi Esashi

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

22(4)

잡지명

マテリアル インテグレ-ション

과학기술
표준분류

재료

페이지

1~7

분석자

허*도

분석물

• MEMS와 세라믹스.pdf [374,032 byte]

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