나노 단위 측정기의 표준화

전문가 제언

○ 휴대 전화, PC, 의료기기 등 초정밀 가공 제품은 우리의 일상생활 주변에도 이미 확산되어 있다. 이들을 구성하고 있는 미세 부품들은 그 제품의 성능을 좌우하는 핵심부품인 경우가 대부분이다. 지금까지 미세 형상 부품에서 고정밀도의 측정 요구는 반도체 공정 등에서의 평면적인 형상의 부품이 대상이었지만, 현재에는 MEMS 기술의 발달과 더불어 입체적으로 복잡한 형상의 부품이 증가하고 있어서 3차원적인 형상해석을 하는 나노미터 단위 측정 장치의 필요성이 높아지고 있다.

○ 이와 같은 배경에서 최근 생산이력을 관리하는 기법 가운데 트레이서빌리티(Traceability)라고 하여 추적을 뜻하는 트레이스(trace)와 가능성을 의미하는 어빌리티(ability)가 조합된 용어로 제조이력과 유통과정을 실시간으로 파악할 수 있는 시스템이 커다란 이슈로 부상되고 있다. 2000년대 초반부터 일본에서 농?수?축산물 분야에서 도입된 이후 유통, 물류, 제조, 서비스 등의 산업 분야에까지 확산되고 있다.

○ 측정의 불확실성은 측정기 본체와 온도 등의 환경, 측정물, 측정전략에 각각 기인한다. 최대의 문제는 측정점의 위치와 수 등 측정전략과 관련된 것이다. 불확실성의 추정에는 교정 워크가 사용, 측정물과 계측결과를 서로 비교 검토하는 방법이 가장 단순한 기법이다. 그러나 복잡한 측정물에 대한 대응과 교정 워크의 관리라고 하는 과제가 있다. 국제적으로 나노 CMM의 추적성을 확보하기 위해서는 평가법의 국제 표준화가 필수적이다.

○ 나노 수준의 계측이 보편화되면 측정물의 형상정밀도 영향이 커지게 될 것이다. 어떤 굴곡을 표면 거칠기의 범위로 볼 것인가, 하나의 형상으로 생각할 것인가 등의 고민이 생긴다. 선을 긋기에 따라서 측정의 불확실성이 영향을 받게 된다. 나노 계측의 기술혁신이 나노 바이오 테크놀로지와 나노 디바이스의 장래를 좌우하게 될 것임에 틀림없다.

저자

Sonko Osawa, Satoshi Gonda, Ichiko Misumi, Osamu Sato, Kentaro Sugawara

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

63(5)

잡지명

自動車技術

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

97~102

분석자

심*일

분석물

• 나노 단위 측정기의 표준화.pdf [383,170 byte]

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