레이저를 이용한 전자 세라믹스 후막의 열처리 공정

전문가 제언

○ 레이저를 이용한 미세가공기술은 레이저빔의 고집속 및 시간적, 공간적 제어 기능을 이용하는 것으로 반도체, 전자, 자동차, 메카트로닉스 등의 첨단산업 분야에서 광범위하게 활용되고 있다. 지금까지의 미크론 단위의 표면 가공 처리에 활용되는 정도를 넘어서 최근에 급격히 발전하고 있는 MEMS 관련 부품을 가공하는 신공정 개발에도 기여하고 있다.

○ 잉크젯 프린트에 내장된 프린트 헤드를 제조할 때 소형 압전 액추에이터가 들어간다. 이 압전 액추에이터는 PZT 후막이 핵심부품이고 이 부품을 제조하는 방법 중 하나는 에어로졸 증착(AD)법이다. 이 논문은 AD 설비에 레이저를 이용한 어닐링 공정을 추가로 설치하여 종래 제품보다 우수한 PZT 후막을 제조할 수 있음을 보여준 새로운 장비를 소개한 것이다.

○ 압전 액추에이터는 기계적 에너지를 전기적 에너지로, 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환 시킬 수 있는 기능을 가지고 있어서 사무기기에서부터 초정밀 첨단 무기에 이르기까지 그 용도가 확대되고 있다. 따라서 선진국은 이 분야의 연구와 특허가 큰 폭으로 증가하고 있다.

○ 압전 액추에이터를 제조하기 위해서 필수적으로 필요한 PZT 후막 기술은 높은 수준의 원천기술이 필요하여 우리나라에서는 이 분야의 연구 개발이 매우 미흡하다. 그러나 이 기술이 가지는 파급효과와 앞으로 더욱 발전할 MEMS 기술에 대응하기 위해서는 이러한 요소기술에 투자와 노력이 절실하다.

저자

So Baba

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

56(4)

잡지명

粉體およぴ粉末冶金

과학기술
표준분류

재료

페이지

177~182

분석자

허*도

분석물

• 레이저를 이용한 전자세라믹스 후막의 열처리 공정.pdf [393,368 byte]

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