고주파 MEMS 스위치

전문가 제언

○ 고주파 (RF)-MEMS 기술은 통신 분야, 특히, 초고속 광대역통신을 실현하기 위해 기대되는 중요한 MEMS 응용기술 분야이며, 향후 MEMS 디바이스 중에서 시장수요가 매우 큰 대표적 분야의 하나로 전망되고 있다.

○ 공진기(resonator)와 스위치(switch), 커패시터(capacitor)는 RF-MEMS 디바이스의 대표적 컴포넌트들로서 마이크로 통신시스템의 각종 디바이스(예; 안테나, 필터, 상변환기, T/R모듈 등)에 응용된다.

○ 1990년대 후반부터 고주파무선통신시대의 핵심부품인 스위치를 MEMS기술로 실현하기 위한 R&D가 주요국에서 활발히 이뤄져왔다. 이에 따라 많은 특허가 출원되고 MEMS 스위치가 이미 시장에 진출하는 단계이다. 그러나 성능과 가공기술, 에너지효율 등에서 아직 개선의 여지가 많아 여전히 특허출원이 이뤄지고 있고 이 발명도 그 중의 하나이다.

○ 이 발명은 삽입손실, 높은 절연성, 비선형성, 에너지 소비절약에서 장점이 있으나 가공이 어려운 정전용량형 MEMS 스위치를 대상으로 Si 희생 층, Si3N4 증착, 포토리소그래피 등 MEMS 가공프로세스를 응용하여 RF-MEMS 스위치의 기계적 특성을 향상시키는 방법을 제공하였다. 여기서 제안한 프로세스는 스위치뿐만 아니라 여타 MEMS 디바이스 제조공정에도 응용하는 것으로서 국내 연구진에도 참고할 가치가 있다.

○ 무선통신과 휴대폰 등 통신기술력에서 강점을 가지고 있는 국내에서도 RF-MEMS 스위치에 관한 특허는 이미 출원해왔다. 예컨대, “고주파스위치의 구조 및 그 제조방법”(출원번호; 1019990017567, LG전자)은 1999년 5월에 출원된 것으로서(공고; 2002년 1월), 에어브리지형 스위치를 대상으로 구동전압을 2.8분의 1로 감축하는 스위치를 제안하였다.

○ 초고속 광대역통신의 발전은 스위치, 공진기 등 컴포넌트기술의 뒷받침이 필수적이다. 많은 경우 이 기술은 마이크로 나노기술의 접목을 통해 실현되고 있다. 미래 통신용 디바이스에 MEMS, NEMS 기술의 융합을 가속화하기 위한 국내 연구진의 대응전략을 더욱 강화할 필요가 있다.

저자

Mimos Berhad(MY)

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

WO20090057988

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~30

분석자

박*선

분석물

• 고주파 MEMS 스위치.pdf [398,944 byte]

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