견평박막 동작 저전압 DC 접촉형 RF MEMS 스위치

전문가 제언

○ RF MEMS 기술은 RF MEMS 스위치와 같은 RF소자의 새로운 세대를 현실화하는 데 좋은 가능성을 제공한다. 이러한 스위치는 낮은 삽입 손실, 무시할 수 있을 만한 전력 소비, 좋은 단절, 높은 전력 수용 능력 그리고 뛰어난 선형 특성 이라는 점에서 기존의 스위치에 비교해 이점이 있다.

○ RF MEMS 스위치들은 동작 메커니즘에 따라 정전기, 자기, 열, 압전 형태로 나누어진다. 대부분의 연구에서는 낮은 전력 소비, 간단한 제조법, 좋은 RF 특성 때문에 정전기적 동작 형태에 초점을 맞춘다. 그러나 정전기적 동작 형태는 다른 형태와 비교하여 높은 전압에서 동작한다. 동작 전압에 영향을 주는 주된 요인 중 하나는 내부 응력 변화로 인한 박막의 휘어짐이다. 여기서 소개된 장치는 이 문제를 해결하기 위해 RF MEMS 스위치에 의해 동작되는 두껍고 단단한 박막을 이용하였다.

○ 전극과 박막 사이의 간격은 유리 기판의 깊이에 의해 조절된다. 이 방법은 식각된 층의 찌꺼기에 의한 오염을 방지하고, 접촉 금속(contact metal)의 신뢰성을 보장한다. RF 응답의 측정은 뛰어났고, 무선 소자나 저전력 소비가 필수적인 공간 체계(space systems)에 적합하다는 것을 보여준다.

○ 많은 기업들은 반도체에 기초한 스위치를 무선 통신 장치인 RF MEMS 스위치로 대체하는 시도를 하고 있다. 하지만 이를 위해선 RF MEMS 스위치의 미세구조 보존을 위해 밀봉 패키지를 요구한다. 따라서 웨이퍼 단계의 칩 비례 축소화 패키징 방법을 개발하는 더 많은 연구가 필요하다.

저자

Jongseok Kima, b, Sangwook Kwona, Heemoon Jeonga, Youngtack Honga, Sanghun Leea, Insang Songa and Byeongkwon Jub,

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2009

권(호)

153(1)

잡지명

Sensors and Actuators A: Physical

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

114~119

분석자

김*수

분석물

• 견평박막 동작 저전압 DC 접촉형 RF MEMS 스위치.pdf [358,068 byte]

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