결합형 MEMS 가속도계/자이로스코프

전문가 제언

○ 현재 자동차산업 등에서 저가격의 관성측정 장치가 많이 응용되고 있다. 이 발명은 MEMS 기술을 이용, 가속도계(accelerometer)와 자이로스코프(gyroscope)를 결합하여 관성측정의 코스트를 낮추는데 목적을 두고 제안하고 있는 고안이다.

○ 가속도계나 자이로스코프와 같은 센서시스템에서는 이미 MEMS형 디바이스로 전환하였고 소형화와 낮은 에너지소비, 낮은 코스트를 달성해 왔다. 이 발명 역시 MEMS 기술을 응용하여 2차 모드에 관련된 정보의 정확도를 높이기 위해 근래 연구가 많이 이루어져온 ΣΔ 힘-피드백 루프 방식을 이용하였다.

○ 그러나 이 고안은 새로운 기술적 방법을 제안한다기보다 센서클러스터를 도입하여 코스트 절감에 초점을 두고 있다. 가속 및 회전과 관련하여 모든 자유도 6도의 적용범위를 커버하기 위해 XYZ 3개축에 따라 측정하고 이를 정렬된 센서클러스터에 의해 달성한다.

○ 국내 기업과 대학, 연구기관들은 이미 이 기술영역에서 세계 정상수준에 이르고 있을 뿐만 아니라 국내외 특허출원도 국제수준이다. KIPRIS 특허검색에서는 검색어 ‘gyroscope’의 경우 610건(2009.6.28 현재), ‘accelerometer AND gyroscope’는 54건이다. 이중 상당건수가 MEMS형 구조를 택하고 있다.

○ 국내출원인 중에서는 삼성전자(주)가 가장 두드러진 출원활동을 보이고 있다. 예를 들면 “가속도계를 이용한 이동체의 속력측정 장치 및 그 방법”(1020030050221, 2003.12 출원, 2005.9 등록) 등 다수가 있고, LG전자(내비게이션 시스템 및 그 운용, 1020070000347, 2007.1 출원), 전자통신연구원(위치추적 장치 및 방법, 1020070083477, 2007.8 출원, 2009.4 등록) 등이 있다.

○ MEMS 기술은 MEMS＋MEMS, MEMS＋나노기술, MEMS＋반도체와 같이 융?복합구조로 발전하고 있다. 국내의 관성측정 장치의 개발에 이러한 추세반영을 통한 특허출원과 기술선점을 기대한다.

저자

Melexis NV, Universiteit Gent

자료유형

특허정보

원문언어

영어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

WO20090050578

잡지명

PCT특허

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

~33

분석자

박*선

분석물

• 결합형 MEMS 가속도계-자이로스코프.pdf [373,967 byte]

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