이산화티탄계 투명전극 재료 개발

전문가 제언

○ 투명전도성 산화물(TCO, Transparent Conductive Oxide) 박막은 가시광선 영역에서 높은 투과율과 전기전도성을 동시에 만족시키기 때문에 여러 가지 표시소자를 포함하여 LCD, PDP, OLED 등 디스플레이 장치의 투명전극 재료로 사용되고 있다. 따라서 이 재료는 디스플레이 산업에서는 필수적이다.

○ 대표적인 투명전극 재료는 In2O3, ZnO 및 SnO2계를 중심으로 오래전부터 실용화에 대한 연구가 진행되어 왔다. 이들 재료 중에 In2O3에 SnO2를 약 10% 첨가한 ITO(Indium Tin Oxide)가 전기적 및 광학적 물성이 가장 뛰어나 FPD(Flat Panel Display)를 비롯하여 다양한 표시소자의 투명전극 재료로 널리 사용되고 있다.

○ 최근 ITO의 원재료인 In의 가격상승과 인체에 유해한 독성 등이 문제점으로 지적되고 있다. 따라서 이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로 주목받고 있는 연구로 고가의 In의 함량을 낮춘 새로운 조성이나, In을 전연 함유하지 않는 새로운 조성의 TCO 재료 개발이 있다.

○ 이 문헌은 펄스레이저 증착법(PLD법)으로 성장시킨 Ta 또는 Nb을 첨가한 아나타제형 이산화티탄(Ti1-xNbxO2, TNO) 에피택셜 박막의 성능이 ITO에 필적하는 투명 도전성의 발현에 대한 것이다. 최근에는 에피택셜 박막뿐만 아니라 유리 위의 다결정 박막도 10-4Ω㎝대의 와 높은 투명성을 얻을 수 있다는 것이 보고되고 있다.

○ TCO 재료는 디스플레이 생산 강국인 우리나라에서는 매우 중요한 재료이다. 이 연구에서 소개하는 TiO2는 지각 중에 10번째로 많이 존재하는 원소로 인체에도 무해하다. 또한 TNO에는 희소금속도 포함되지 않아 ITO 대체 재료로 유력한 후보라고 생각된다. ITO 대체 재료를 연구하는 분야의 사람들에게 좋은 자료라고 생각되어 추천한다.

저자

Naoomi Yamada

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

44(5)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

360~364

분석자

김*환

분석물

• 이산화티탄계 투명전극 재료 개발.pdf [374,689 byte]

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