HF/Na2O2 용액에서 다결정 p형 6H-SiC의 화학 에칭

전문가 제언

○ 다결정 p형 6H-SiC의 화학 에칭 반응에 관한 연구를 HF/Na2O2 용액에서 수행하였다. 에칭 표면의 형태는 Na2O2 농도, 에칭 시간, 교반 속도 그리고 온도 변화에 따라 시험하였다. 에칭된 시료는 주사 전자현미경(SEM), 에너지 분산 X-선(EDX), 푸리에 변환 적외선 분광분석(FT-IR) 그리고 광 발광(PL)을 이용하여 분석하였다.

○ HF/Na2O2에서 에칭한 시료의 표면 형태는 용액 조성 그리고 용액 온도에 의존함을 보이고 있다. 6H-SiC 표면에 관한 HF/Na2O2 용액의 조사는 Na2O2 농도가 증가할 때 에칭률은 약 0.5M에서 최대값에 달하기까지 증가하고 그 후 감소함을 입증하였다. 최대 에칭률은 80℃에서 발견되었다.

○ 국외에서는 Kato 등이 “묽은 KOH 용액을 이용한 6H-SiC의 전기화학 에칭”, Chang, W.H은 “묽은 HF 용액에 의한 전기화학 에칭”과 “UV 조명 없이 HF 용액으로 전기화학 에칭” 그리고 Keffous, A등은 “HF/에틸렌글리콜 용액 에칭" 등이 있다. 많은 관심을 가지고 연구하고 있다.

○ 국내에서는 “단결정 6H-SiC의 광전화학 습식 식각에 대한 연구”를 발표하였으며 최근 2008년에 “SiC 단결정의 직경 확장” “SiC 표면 위 그래핀 층의 구조적 변화” 그리고 “마이크로 기공이 SiC 결정질에 영향”등을 발표하여 SiC의 결정성장과 에칭 연구에 많은 관심을 가지고 있다.

○ 청색 LED 재료는 두 종류가 있다. GaN는 직접 형 밴드 갭을 가지며 혼합물 InGaN는 청색을 방출한다. SiC는 간접 형 밴드 갭이고 효율이 낮은 청색을 방출한다.

○ SiC는 불순물 첨가에 따라 청색방출 효율이 향상된다. 특히 높은 저항성 시료에 적합한 새로운 HF/Na2O2의 화학 에칭 용액은 침식이 등방성으로 보다 반드러운 표면을 얻는다. 앞으로 청색방출 LED 제작에 크게 기여할 수 있을 것으로 생각된다.

저자

Noureddine Gabouze

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

255(15)

잡지명

Applied Surface Science

과학기술
표준분류

재료

페이지

6751~6756

분석자

문*찬

분석물

• HF,Na2O2 용액에서 다결정 p형 6H-SiC의 화학 에칭.pdf [354,760 byte]

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