배향성 질화알루미늄 박막을 이용한 연소압 센서

전문가 제언

○ 지구온난화 주범인 이산화탄소와 산성비의 원인인 질소산화물의 배출량 증가 등의 환경문제는 세계적으로 심각한 국면을 맞이하고 있다. 또한 유가 급등 등의 경제적인 문제가 발생하고 있어, 자동차, 항공기, 가스터빈 엔진 등의 연소기술이 고도화하고, 기름의 소비량을 절감하기 위해 내열성이 우수한 연소압 센서 등의 개발이 필요하게 되었다.

○ 이 문헌에서는 배향성 AlN 박막을 이용한 소자의 고온압력 센서로서 특성과 그것을 이용한 시작품 엔진 연소압 센서 특성에 대하여 소개하고 있다. AlN 박막을 이용한 압력센서는 이미 보고되고 있으나, 엔진 연소압 센서로서 필요한 특성을 명확히 하지 못하고 있다. 그러나 이 연구에서 센서의 감도는 시판제품의 수준에 미치지 못하였다. 감도를 올리기 위해 AlN 박막의 특성을 향상시킬 필요가 있으며, 동시에 센서구조를 개선하여 최적화시키고, 적층 구조를 적용하여 감도의 향상을 시도하는 것이 금후의 과제라고 필자는 판단하고 있다.

○ AlN은 열전도, 내열충격성, 전기저항, 내식성이 우수하며, 열팽창 계수와 유전상수가 낮은 유망한 재료이다. 세라믹스 AlN은 알루미나 기판 대체재료, 직접회로용, 반도체 공정용 부품, 마이크로웨이브 장치의 부품으로 사용되고 있다. 그러나 AlN의 시장은 미국의 세라다인, 일본의 교세라, 도시바 등이 과점하고 있는 상태이다.

○ AlN은 세라믹스 재료 중에서도 최근에 개발된 재료에 속하며, 기능, 가격 등의 분야에서 아직 완전히 자리를 잡은 상태가 아니며, 새로운 기능이 계속 개발되고 있다. 따라서 배향성 박막 등을 이용한 센서 등은 새로운 분야이나, 중소기업 등의 산업계에서도 충분히 도전할 수 있는 분야라고 생각된다.

저자

Kazusai Kishi, et al

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2009

권(호)

44(3)

잡지명

セラミックス

과학기술
표준분류

재료

페이지

144~148

분석자

김*환

분석물

• 배향성 질화알루미늄 박막을 이용한 연소압 센서.pdf [353,749 byte]

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