광학 MEMS를 위한 폴리디메틸실록산 공정과 물질 특성

전문가 제언

○ PDMS의 장점은 첫째, substrate의 상대적으로 넓은 영역에 안정적으로 점착할 수 있다. 이는 평탄하지 않은 표면에 대해서도 동일하게 만족할 수 있다는 장점을 가지고 있다. 두 번째로, 표면 에너지가 낮다. 따라서 PDMS에 다른 폴리머(polymer)를 몰딩(molding)할 때, 접착이 잘 일어나지 않아 성형 가공성이 좋다. 세 번째로, PDMS는 균질하고, 등방성이고, 광학적으로는 300㎚의 두께까지는 투명하다. 따라서 이러한 성질을 이용하여 광학 장치를 만드는 데 이용될 수 있다.

○ 이 논문은 MEMS와 관계있는 PDMS의 유동학적, 기계적 그리고 광학적 특성에 대하여 중점적으로 다루었다.

○ 이 논문에서는 PDMS를 optical MEMS에 접목하여 여러 가지 특성을 측정하였다. optical MEMS에서 중요한 사항인 굴절률과 표면 균일성 등의 특성을 자세히 나열하여 PDMS를 사용하였을 때의 장점을 기술하였다.

○ 현재 PDMS는 가장 널리 사용되는 실리콘 중 하나이다. 하지만 이를 이용한 optical MEMS는 거의 없다. 왜냐하면 MEMS 분야에서 아직 광학 분야의 연구가 활발하게 이루어지지 않았기 때문이다.

○ 한때 광통신에서 optical MEMS 기술이 연구되었지만 기술적 한계에 부딪혔다. optical MEMS의 기술적 한계는 내구성과 반사율을 들 수 있다. 내구성은 반사경의 움직임에 있어 움직이는 부분과 반사경을 연결하여주는 링크가 쉽게 탄성을 잃어 정확한 제어가 어렵다는 점이다. 반사도는 반사경의 표면이 매끄럽지 못한 점과 반사경에 사용되는 물질의 특성에 영향을 많이 받는다. 이러한 여러 한계에 부딪혀 optical MEMS의 응용이 부족하였다. 앞으로 더 많은 연구와 실험이 이루어 져야 할 것이다.

저자

Florian Schneider, a, , Jan Draheima, Robert Kambergera and Ulrike Wallrabea

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

전기·전자

연도

2009

권(호)

151(2)

잡지명

Sensors and Actuators A: Physical

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

95~99

분석자

김*수

분석물

• 광학 MEMS를 위한 폴리디메틸실록산 공정과 물질 특성.pdf [420,930 byte]

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