내 신청현황
종류	모집공고명	진행상태
신청내용이 없습니다.

알림마당

home

초미세 광물성 분진입자 측정에서 비 구형 입자의 영향

전문가 제언: ○ 초미세 입자는 모양, 상태, 화학성분에 따라 인체에 나쁜 영향을 미치며, 반도체 제조공정에는 치명적인 품질 문제를 야기하므로, 초미세 입자의 분포와 갯수의 측정은 관리상 매우 중요하게 된다.

○ 이때 광학입자계수기(OPC)는 입자가 산란시킨 빛의 강도를 측정하는 원리를 이용한 것으로, 크기 분포와 갯수를 실시간으로 동시에 간편하게 측정할 수 있어서 많이 사용되어 오고 있다.

○ 그런데 초미세 입자인 에어로졸의 산란 특성은 광 파장, 입자 크기, 산란각도, 광학적 굴절률에 따라 달라지고 형상이 다양한 초미세 입자에 대해 OPC의 측정 오차가 커진다는 문제가 있다.

○ 즉 OPC는 입자 크기에 따른 산란광의 양이 선형적으로 변하지 않기 때문에 입자 크기를 분별하는 분해능에 한계가 있고, 입자 크기만 측정하게 되므로 입자의 종류는 파악이 안 되어 발생원을 알기 어려워진다.

○ 이 글은 초미세 입자의 크기 분포 측정에 있어서 비 구형입자의 영향을 살펴보고 OPC의 오차결과와 다른 측정 장치인 TEM, SMPS 등과 비교하여 오차범위와 이유를 설명하며 주의를 촉구하고 있다.

○ 이러한 OPC는 간편한 간접 측정법으로 계속 발전 개선되고 있는데, 최근에는 산란광의 강도가 광 파장과 관련이 깊으므로 파장을 이용하여 입자의 물리량 측정이 가능해지고 있다.

○ 즉 동역학적 입자 크기와 광학적 입자 크기를 동시에 이용해 입자의 물리적 특성을 파악할 수 있으므로, 초미세 입자일수록 입자의 불규칙한 형상에 의한 오차 발생을 감안하여 다른 측정기기에 의한 비교 값 분석으로 신뢰도를 높여가는 것이 최선일 것이다.

저자: Tetsu SAKAI, Yuji ZAIZEN, Chiharu NISHITA, Atsushi MATSUKI, Yuzo MANO and Kikuo OKADA
자료유형: 학술정보