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주사형 나노 피펫 프로브 현미경을 이용하는 미세가공

전문가 제언: ○ 지금까지 미세한 디바이스의 제작에는 일반적으로 반도체 디바이스 프로세스에서 큰 힘을 발휘해온 포토 리소그래피가 이용되어 왔으나 이 가공법은 축소 노광 장치 등 고가의 설비와 복잡한 프로세스로 구성되어 있으며 사용하는 광의 파장에 따라 가공 정도에 제한이 있는데 사용 파장을 내린다 해도 나노 기술이 진보된 오늘 날에는 더 이상의 가공 정도의 향상은 기대할 수 없다. 그러므로 이를 뛰어 넘는 새로운 미세화 가공법을 개발하기 위한 노력이 요청된다.

○ 본고는 미세가공 수단으로 주사형 프로브 현미경(SPM)을 이용하는 방법에 대해 소개하고 있는데 본고의 필자는 오랜기간 SPM의 개발 활용에 대한 연구를 토대로 해서 나노 피펫 프로브를 이용하는 주사 전자현미경에 의한 미세가공의 예를 들어 설명하고 있다.

○ 주사형나노 피펫 프로브 현미경은 나노 스케일의 피펫을 프로브로 사용하여 고체 표면과 접촉 상태에서 고체 표면 상태를 관찰하고 가공할 수 있는 장치이다.

○ SPM 장치는 비교적 간단하며 값이 비싸지 않기 때문에 원자를 직접 조작하고 문자를 쓸 수 있을 정도로 높은 가공 정도를 가지고 있다. 또 사용 환경이 진공 이외에도 대기 중, 가스 중, 용액 중 등 모든 환경에서 작동할 수 있으며 고체 표면에 대해서도 다양한 상호작용을 이용하여 미세가공을 할 수 있다.

○ 환경에 구애받지 않고 높은 정도를 가진 SPM 미세가공 기술은 차세대의 전자 디바이스나 MEMS의 시작 기술을 필두로 폭 넓은 분야에서 응용될 것으로 기대되므로 나노 기술에 종사하는 연구자에게는 귀중한 자료를 제공할 수 있을 것으로 사료된다.

저자: F. Iwata
자료유형: 학술정보