MEMS 분야의 연구동향

전문가 제언

○ 이 자료는 미국과 유럽의 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 기술 연구동향을 거시적으로 분석한 내용이다. MEMS 분야에 대한 연구가 왕성한 국내의 연구정책, 연구기획 또는 과제도출에 참고할만한 가치가 있다.

○ 1964년 IBM 연구원 Nathason이 Si 웨이퍼 위에 2차원 형상의 구조물( 스위치)을 제작하였다. 이를 기점으로 1970년대 이방성 에칭을 이용한 여러 마이크로디바이스 연구와 벌크 마이크로가공에 의한 3차원 구조 제작, 1980년대 표면 마이크로가공에 의한 3차원 박막 구조물의 개발로 MEMS 기술이 발전해 왔다.

○ 1990년대는 MEMS 상용화의 출발시기이다. MEMS 디바이스가 장착된 자동차용 가속도미터, GPS, 컴퓨터 잉크젯 프린터, DLP(Digital Light Processing) 프로젝터 등이 시장에 진출하여 MEMS 기술혁신을 일으키기 시작했다. 이 시기의 또 하나의 특징은 바이오/의료분야에서의 MEMS 응용이다. μTAS의 연구는 대표적이다.

○ 근래까지 MEMS 디바이스기술은 단일 또는 단일기능 디바이스 중심이었으나 2000년대 이후에는 기능의 복합화, 이종기술의 융합, 고기능-초소형-고집적 마이크로시스템으로 발전하고 있다. 미국과 유럽에 비해 MEMS 후발국인 일본이 최근 3년간(2006~2008년) 국가프로젝트로 ‘고집적?복합 MEMS 제조기술 개발사업’을 추진한 것은 이 추세를 반영한다.

○ 이 자료에서도 분석되었듯이 MEMS 기술은 기존의 주요 수요분야인 자동차, 전자통신을 비롯하여 바이오/의료, 정밀기계, 항공우주, 에너지, 환경, 화학, 농업, 오락 등 다양한 산업분야로 응용이 확산되는 추세이다. 우리나라의 경우, 일부분야(예; 바이오)의 연구논문 발표 건수에서는 세계 정상수준이다. 이 경쟁력을 산업으로 연결시키기 위해 MEMS산업의 인프라인 파운드리 서비스체제를 조속히 조성할 필요가 있다.

저자

ODERA Hidetoshi

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

정밀기계

연도

2009

권(호)

-(-)

잡지명

NEDO海外レポ-ト

과학기술
표준분류

정밀기계

페이지

1~20

분석자

박*선

분석물

• MEMS 분야의 연구동향.pdf [242,165 byte]

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