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레이저 시스템을 이용한 MEMS 기반의 박막격자의 분광계의 소개

전문가 제언: ○ 분자는 다양한 화학결합의 진동에너지와 일치하는 파장에서 빛을 흡수한다. 빛의 흡수 정도는 검출기에 의해 측정되는데 결과적으로 스펙트럼은 분자가 빛을 흡수하는 파장에 일치하는 최고치를 나타낸다. 흡광도의 크기는 시료 중 분자의 농도와 직접 연관되어 있다. 또한 스펙트럼 패턴은 고유의 뒤틀림, Band, 회전 및 각 원자들의 화학결합의 회전 및 진동 등 분자의 실제 구조를 반영한다.

○ 적외선(IR)을 이용한 분광분석법은 다양한 분야에 적용되고 있으며, 정성에서 정량분석으로 그 영역을 넓혀가고 있다. 특히 적외선 분광분석기는 미지시료를 판별하는 데 아주 유용한 도구로 사용된다. 적외선 분광기는 분자의 작용기에 의한 특성적 스펙트럼을 비교적 쉽게 얻을 수 있고, 광학 이성질체를 제외한 모든 물질의 스펙트럼이 서로 차이가 있어서 분자 구조를 확인하는 데 결정적인 정보를 제공해 준다.

○ 적외선은 무기/유기화학은 물론 화학의 모든 분야에서 널리 이용되고 있으며, 빠르고 정확한 분석법으로 R&D는 물론 산업현장의 품질 관리/보증 등 그 응용분야가 빠르게 확대되고 있다.

○ 이 논문에서 제작된 소자는 MEMS(Micro-electromechanical Systems) 기술을 응용하였기 때문에 크기 면에서 상당히 작다. 또한 기존의 반도체 공정을 이용하여 쉽게 만들 수 있다. 이는 FTIR 기술이 기존의 구조에서 벗어나 더 작게, 따라서 더 경제적으로 만들어질 수 있음을 뜻한다.

○ MEMS는 많은 분야에서 응용되고 있다. 특히 의료, 반도체 센서 부분에서는 상당히 많은 부분 발전 되고 있음을 알 수 있다. 이 기술의 장점은 기존 반도체 공정을 이용하여 만들 수 있다는 것과 'micro' 단위의 제작으로 기존 시스템보다 크기가 월등히 작아질 수 있다는 것이다. 앞으로 더욱 MEMS 분야에 대해 연구하고 개발하면 많은 분야에서 응용되어 사용될 수 있을 것이다.

저자: Feiwen Leea, Guangya Zhou, a, , Hongbin Yua and Fook Siong Chaua
자료유형: 학술정보