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박막 트랜지스터(TFT) 제조기술

전문가 제언: ○ 트랜지스터가 고집적 IC-chip으로 진화하면서 IT산업의 비약적인 발전과 특히 디지털 모바일기기의 급속한 확산으로 인해 이제는 집적도 차원을 넘어 박막화로 발전하고 있다. 이는 LCD 기술을 통해 대화면 TV, 평판 디스플레이, 프로젝터 및 모니터 분야에서 LCD는 CRT 기술을 빠르게 대체하고 있다. 이 기술은 디스플레이 소자 분야에서 수요가 급증하고 있는 미래유망기술이다.

○ TFT는 절연성 기판 위에 반도체 박막을 이용하여 만든 전계효과 트랜지스터(FET)로 반도체 내의 캐리어들이 인가된 전계에 따라 양극에는 (-) 전자가 모이고, 음극에는 (+) 정공이 모여서 도전성 채널을 만들어 TFT가 완성되는 것이다. 이 기술의 핵심은 소스에서 드레인에 흐르는 전류를 게이트에 가한 전압에 의해 제어하는 방법인데, 이때 채널의 저항을 변화시켜 다수 캐리어의 흐름이 원활하지 못할 때 안정적인 스위칭 동작에 장애를 일으킬 수 있는 점은 개선의 여지가 있다.

○ 이 기술에서 고 저항 영역을 채널영역으로 변화시키기 위해 진공상태 고 기압 조건에서 불활성 가스(N2, Ar 등) 속에서 150~250℃의 고온으로 열처리를 수행하는 중에 상대적으로 열저항이 증가하여 최종 웨이퍼의 진성저항률이 반도체의 범위를 초과하거나 절연파괴가 발생할 수 있는 조건에 대한 기술개선이 필요하다.

○ 세계 디스플레이 시장은 성능과 가격경쟁력을 갖춘 LCD, PDP 등의 평판디스플레이 수요 증가로 인해 2002년 이후부터 CRT 시장을 추월하고 있다.

– 평판디스플레이 시장은 LCD, PDP, OLED가 95% 이상을 차지하고 있으며, LCD 시장은 휴대폰, 노트북, 모니터, DTV 및 DID 시장을 위주로 성장하고 있다.

– 평판디스플레이는 공공장소의 정보표시기기 등 주로 대화면 TV 제품에 응용되고 있으며, 향후에는 100인치 급의 중대형 TV로 응용될 것으로 전망된다.

저자: CANON KABUSHIKI KAISHA
자료유형: 특허정보