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에어로졸 증착법

전문가 제언: ○ 세라믹 미립자, 초미립자 원료를 가스와 혼합하여 에어로졸화 후 노즐을 통하여 기판에 분사하여 피막을 성형하는 에어로졸 증착법은 고온에서 소결을 하지 않고도 실온에서 고화 및 치밀화를 할 수 있는 혁신적인 코팅기술로서 향후 기능부품의 제조공정에서 핵심적인 기술로 활용될 전망이다.

○ 에어로졸 증착법을 이용하여 미세패턴을 형성할 때에는 챔버나 마스크를 통과하는 에어로졸의 흐름을 고려하여 작업조건을 선정하는 것이 필요하다.

○ 피막을 형성하는 과정에서 진공도가 낮아지게 되면 초미립자 흐름이 마스크의 모서리 등에서 산란되어 고정밀의 패턴을 형성하는 데 방해를 받을 수 있다. 따라서 저진공(수백Pa～대기압)에서 에어로졸 증착법으로 성형되는 피막의 품질을 정밀 분석하여 최적의 피막품질을 얻을 수 있는 적절한 진공도를 유지하는 것이 중요하다.

○ 에어로졸 증착법으로 금속산화물의 박막을 코팅할 경우에는 분해 또는 산화 등의 화학반응이 일어나는 시점과 온도에 의해 전기로 등의 작업온도가 설정되므로 예비실험을 통해 시점과 온도를 정확하게 파악하는 것이 매우 중요하다.

○ 전자제품 사이클의 단기화와 함께 다품종․변량생산이 요구되는 시대를 맞아 전자디바이스, 실장 분야 등에 에어로졸 증착법을 적용하기 위해서는 생산성에 대한 검토가 필수적이다. 일본 AIST(Advanced Industrial Science and Technology)의 Akedo 등이 제시한 고기능부품의 생산비 저하, 에너지 절약 등에 관한 내용은 향후 우리나라의 에어로졸 증착기술을 발전시키는 데 유익한 자료로 활용할 수 있다.

저자: Akedo
자료유형: 학술정보