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MEMS재료의 피로시험 국제표준화

전문가 제언: ○ 현재 일본은 MEMS용 박막의 피로시험에 관한 국제규격(IEC 62047-6)을 추진하고 있다. 또한 한국 역시 MEMS총칙을 비롯하여 RF-MEMS 스위치, 박막 휨 시험법, 접합강도 시험법(wafer to wafer) 등을 IEC규격으로 제안하고 있는 중이다. 이 보고서는 일본의 국제규격 추진현황과 한국의 제안규격에 대한 일본의 대응현황을 조사 보고한 내용이다.

○ 미래 유망산업분야인 MEMS는 신기술이므로 아직 디바이스의 제조에 관련된 국제규격, 특히, 각종 시험방법들이 정비되어 있지 못한 상태이다. 따라서 MEMS생산과 수출입에서 디바이스의 인증 또는 품질평가를 위한 국제표준규격 제정은 주요국들의 중요한 관심사이다.

○ 일본은 MEMS 후발국이지만 마이크로시스템 기술기반에 강점을 보유하고 있고, 반도체에서 추월을 허용한 일본의 입장에서는 IEC MEMS규격제정 주도권은 MEMS 산업발전과 수출전략과 연관되어 있다. 일본이 제안한 MEMS 핵심재료인 박막의 피로시험에 대한 IEC 국제표준규격은 거의 승인단계에 이른 것으로 이 보고서에서 밝히고 있다.

○ 이 보고서는 또한 한국이 제안한 MEMS총칙 등 4건의 IEC규격제안에 대한 일본의 대응상황을 비교적 자세히 다루고 있다. 국제규격화의 주도권이 치열한 상황에서 볼 때 한국과 일본은 협력관계에 있다. MEMS의 국제규격화 협력을 위해 2005년 이후 매년 실시되고 있는 한중일 워크숍의 역할도 있지만, 국제반도체 시장에서 높아진 한국의 위상과 국제수준의 MEMS 연구개발실적 등이 반영된 결과라 할 수 있다.

○ IEC규격 제정은 신 업무항목(NP)제안→작업원안(WD)작성→위원회원안(CD)작성→국제규격원안(CDV) 조회 및 결정→최종 국제규격안(FDIS) 결정→국제규격의 발행 등 여러 단계를 거치며, 과정마다 회원국의 코멘트를 받는다. 사실상 미국과 유럽이 주도하는 국제표준규격 제정과정에서 위원간의 협력과 각국과의 정치적 협력분위기 조성, 한중일의 긴밀한 협력이 중요한 요소이다. 국내 MEMS전문가를 비롯하여 국제규격담당기관에 거는 기대가 크다.

저자: Micro Machine Center
자료유형: 학술정보