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MEMS용 설계·해석 지원시스템 개발 프로젝트 성과보 급사업 : MEMS-ONE

전문가 제언: ○ 본 프로젝트 보고서는 일본 신에너지·산업기구총합개발기구(NEDO)로부터 위탁받은 재단법인 MMC(Micro Machine Center)가 중심이 되어 소프트웨어의 저작권을 보유하고 있는 일본 Unisys·Excelutions 주식회사, Mizuho 정보총연(情報總硏) 주식회사, 주식회사 Suri 시스템(Mathematical system inc.) 등 소프트웨어 업체 3사가 제휴하여 실시한 결과를 정리한 것이다.

○ 일본의 MMC가 2004년부터 2006년까지 3개년 간에 걸쳐 실시된 “MEMS용 설계·해석 지원시스템 개발 프로젝트(MEMS-ONE Project라고 부름)”의 성과가 MemsONE Software이다. MEMS-ONE 프로젝트가 목표로 한 MEMS 산업의 저변확대 및 MEMS 신제품 개발의 촉진을 위해 MMC 내에 MemsONE 보급촉진 위원회를 구성하고 구체적인 판촉활동 및 보급촉진을 위한 과제 검토, 사용자 지원활동 등을 적극적으로 실시하고 있다.

○ MEMS 기술은 기계 부품, 센서, 액추에이터, 전자 회로를 하나의 실리콘 기판 위에 집적화한 장치를 가리킨다. 주로 반도체 집적회로 제작 기술을 이용해 제작되지만 반도체 집적회로에서 평면을 가공하는 프로세스로 제작할 때 입체 형상을 만들어야 하므로 반도체 집적회로의 제작에는 쓰이지 않는다. 현재 제품으로 시판되고 있는 것으로는 잉크젯 프린터의 헤드, 압력 센서, 가속도 센서, 자이로스코프, 프로젝터 등 이 있다.

○ 우리나라의 MEMS 기술은 선진국들과 큰 차이가 없으며 노력하기에 따라서는 추월할 가능성도 충분히 있다. 초소형 구조물, 센서, 액추에이터 소자 및 마이크로 응용 시스템을 연구하는 분야로서, 정보통신, 첨단 의료기기 및 진단 시스템, 자동차, 환경, 신 에너지원 등 산업분야에 기반기술로 자리잡아가고 있으며, 나노기술과의 접목을 통하여 융합기술로써의 MEMS 기술의 중요성이 가시화되고 있다. 2008년 4월 3일부터 5일까지 제10회 한국 MEMS 학술대회가 열리기도 하였다.

저자: NEDO
자료유형: 학술정보