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반사방지 코팅조성물

전문가 제언: ○ 현대사회는 전자기기들에 의해 유지된다고 하여도 과언이 아닐 정도로 우리 일상생활에 깊이 연관되어 있다. 이들 전자기기들의 덕택에 인간은 편안하고 더 건강한 생활을 영위하게 되었다.

○ 다양한 종류의 전자기기들은 사용상의 편리함 등을 위해 점점 소형화되고 고기능화 되어가고 있다. 소형화 고기능화에 가장 중요한 것은 반도체의 기억용량을 올리는 것이다.

○ 현재의 실용화된 기술로는 반도체의 기억용량을 올리는 것은 웨이퍼 단위면적당 얼마나 많은 선들을 그릴 수 있느냐에 달려있다. 이를 위해서는 여러 가지 기술이 종합적으로 필요하지만 가장 중요한 것은 해상도가 좋은 포토레지스트를 개발하는 것과 패턴을 만드는 기술이다.

○ 포토레지스트를 이용하여 노광하여 패턴을 제조할 때 기질표면에서 반사되는 빛에 의해서 포토레지스트가 노광되어 해상도가 떨어지는 것을 방지하기 위해 BARC가 필요하다.

○ 본 발명은 액침 리소그래피에 적당한 BARC에 관한 것으로 고분자 내에 굴절률을 조절할 수 있는 그룹과 빛을 흡수할 수 있는 그룹을 붙여 사용하는 것이 특징이다. 종래의 고분자와 분자량이 작은 기능성물질을 섞어 사용하는 방법에 비해 공정상 장점이 많을 것으로 보인다.

○ 본 발명의 단점은 고분자합성을 용도마다 적합한 고분자를 별도로 제조해야 하는 점과 더 고가의 고분자가 될 수밖에 없다는 점이다. 그러나 반도체 제조에서 반사방지 코팅용액이 차지하는 원가부담은 미미하기 때문에 고해상도를 얻을 수 있다면 실보다 득이 많다.

○ 우리나라는 반도체 및 전자기기에서는 세계 최고수준의 기술과 생산량을 가지고 있다. 포토레지스트와 BARC도 국내에서 생산되고 있지만 수입 물량도 많다. 원천 기술개발 면에서는 외국에 비해 뒤지는 것도 사실이다. 원천기술 개발을 위한 산학 연개가 필요한 분야이다.

저자: AZ Electronic Materials USA Corp.
자료유형: 특허정보