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대기압 공기 중에서 이동성 방전으로 생성된 전기적 유체 흐름

전문가 제언: ○ 본고는 유전체장벽 방전방식을 이용하여 대기압 분위기에서 안정적인 플라즈마를 발생시킨 뒤 그 특성에 대한 연구를 하였다. 특히 생성된 플라즈마의 고 전계에 의한 유체적 이동성에 대한 연구를 통해 플라즈마의 유체 흐름 조절기로서의 가능성을 나타내었다. 이러한 새로운 소자의 개발과 그 원리에 대한 연구를 통해 플라즈마의 응용 범위가 더 넓어질 수 있을 것으로 생각된다.

○ 플라즈마는 고온 또는 고전압에 의해 이온상태로 존재하는 기체를 말하는 것으로, 그 독특한 특성으로 인해 산업의 여러 분야에 활용되고 있다. 현재 반도체 공정 분야에서 아주 광범위하게 사용되어 반도체의 집적도를 높이는 데 큰 기여를 하고 있다.

○ 플라즈마를 이용한 오염물질의 제거 탈황장치 등은 환경오염이 날로 심해지고 있는 산업현장에서 환경보호를 위한 중요한 장치로서 그 필요성이 점점 높아지고 있다. 실생활에서도 공기청정기, 살균장치, 의료장비, 디스플레이 장치에도 활용되어 그 쓰임새가 아주 광범위하다.

○ 이러한 플라스마를 대기압에서 생성하기 위해서는 초고온 혹은 고전압이 필요한데 현실적으로 고온상항을 만들기가 아주 어렵기 때문에 고전압을 이용한 플라스마 발생장치가 많이 연구되고 있다. 또한 대기압에서 안정적인 플라스마의 특성을 규명하고 메커니즘을 이해하여 보다 넓은 활용 범위를 만들어 내고 있는 실정이다.

저자: E. Moreau, C. Louste, G. Touchard
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