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광학 공명 센서를 갖춘 MEMS 기반 나노 중력 가속도계

전문가 제언: ○ MEMS(Micro Electronic Mechanical System) 가속도계는 MEMS 분야가 발전하게 된 가장 큰 계기중의 하나로, 주로 자동차의 에어백의 가속 감지 장치 등에 많이 사용된다. 이는 1991년 미국의 Analog Device Inc.에서 세계최초로 개발되어 현재까지 큰 시장을 형성하며 발전하고 있다. 그리고 현재는 그 활용범위를 다양하게 넓히고 있는데 최근 휴대폰에도 장착되어 동작 감지에 활용되고 있으며 초소형 관성 장치로서 널리 그 유용성을 인정받고 있다.

○ 이 논문은 이러한 MEMS 가속도계의 민감도를 향상시키는 방안에 대한 연구 실험 결과이다. MEMS 가속도계의 민감도 향상을 위해서 정밀한 반도체 공정을 이용해서 광학적 나노 격자를 제작하고 이를 변위 측정을 위해 사용하였다. 이 방법을 통해 기존의 MEMS 가속도계보다 월등히 뛰어난 고도의 민감도를 가지는 센서를 만들었다.

○ 이를 이용하면 지진으로 인한 지축의 미세한 진동, 그리고 기존에 검출할 수 없었던 미세한 가속도도 측정할 수 있게 되어 미시세계에 대한 물리적인 이해도를 높일 수 있을 것으로 기대한다. 이러한 기술의 발전을 통해 나노 세계에 대한 이해를 한 단계 높이고 이를 통해 기술 발전에 커다란 공헌을 할 것이라고 생각한다.

저자: U. Krishnamoorthy, R.H. Olsson III, G.R. Bogart, M.S. Baker, D.W. Carr, T.P. Swiler, P.J. Clews
자료유형: 학술정보