하이브리드 MEMS 페브리-페롯 가변 파장 필터
- 전문가 제언
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○ 파장 필터는 광학 분석 장비와 파장 분할 다중 송신 광학 섬유 네트워크에서 없어서는 안 될 구성요소이다. 하지만 기존의 기계적인 가공 기술을 이용하여 제작한 파장 필터는 그 크기를 줄이는 데 한계가 있어 작은 기기에 사용하기에 많은 어려움이 있었다.
○ 다양한 광 통신 장비와 광학 분석 장비에 응용하기 위해서는 이러한 파장 필터의 소형화가 필요하다. 이러한 요구에 부응하여 소형화를 위해 MEMS 기술의 적용 가능성을 보였고, 마이크로 전기 기계적 시스템( MEMS)을 이용하여 아주 작은 크기의 페브리-페롯(Fabry-Perot) 파장 필터를 제작 하였다는 점과 더욱이 이 소자의 장점은 MEMS 시스템을 이용하여 필터 특성을 자유롭게 변화시킬 수가 있다는 점에서 그 활용 범위를 더 확장할 수 있는 장점이 있다고 생각된다.
○ 광학적 특성 조절을 위해 MEMS 빗살형(comb) 구동부를 제작하고 이를 파장 필터의 특성에 응용한 것은 그동안 빗살형 구동부를 MEMS 거울에 주로 응용해왔던 사실에 비추어볼 때 MEMS의 발전, 응용가능성을 한 단계 업그레이드 한 결과라고 생각된다.
○ 파장 가변이란 원하는 대역의 파장을 마음대로 움직일 수 있는 것을 뜻하며 이를 실현한 파장 가변 필터는 파장 다중된 광신호 처리에서 중요한 역할을 한다. 파장 가변 필터를 사용하면 파장 다중된 광신호 중에서 원하는 파장의 광신호만을 임의로 선택함으로써 기존의 광전송과는 다른 구조의 광시스템이 가능하다.
○ 따라서 파장 가변 필터는 파장 다중된 광신호 처리에서 중요한 역할을 한다. 현재파장 가변 필터의 여러 가지 방식 중, 페브리-페롯(Fabry-Perot) 방식과, 미끄러짐 조정(Sliding tuning)을 이용한 방식, 모드 커플링을 이용한 방식이 상용화 되었으며, 본 논문에서 제시한 페브리-페롯(Fabry-Perot) 방식은 JDS Fitel, Queensgate, E-TEK 등에서 상용화 하여 제작 판매하고 있다. 파장 가변 필터는 원거리 통신, 분광학, 광학 감지기, 형광 현미경등 매우 다양한 분야에 널리 사용되고 있다.
- 저자
- Toshio Yamanoi, Takashi Endo, Hiroshi Toshiyoshi
- 자료유형
- 원문언어
- 영어
- 기업산업분류
- 전기·전자
- 연도
- 2008
- 권(호)
- 145-146
- 잡지명
- Sensors and Actuators A: Physical
- 과학기술
표준분류 - 전기·전자
- 페이지
- 116~122
- 분석자
- 김*수
- 분석물
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