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AlCuMgMn 박막장력 시료에서 MEMS 물질의 기계적 특성

전문가 제언: ○ 현재 MEMS을 이용한 다양한 소자의 개발이 이루어지고 있다. MEMS란 마이크로 단위에서의 기계 전기적인 특성을 이용한 시스템이란 뜻으로서 거시세계에서 나타나는 현상과는 다른 미시세계에서의 특성들을 이용해 소자로 활용하는 것을 꾀하고 있다. 이를 통해 새로운 RF 스위치와 같이 다양한 소자에 대한 연구 개발이 이루어지고 있다.

○ 그러한 연구를 위해서는 거시적인 물질 특성과는 다른 미시적 세계에서의 물질 특성에 대한 근본적인 연구가 필요하다. 이는 마이크로 단위의 규모에서는 물질의 특성이 거시 세계에서의 특성과는 다르게 나타나기 때문이다. 이를 위해서 마이크로 규모에서의 기계적인 특성의 확인이 아주 중요하다. 이는 MEMS 공정과정에서 형성되는 구조물의 신뢰도를 높이고 성능을 정확하게 예측하여 설계할 수 있게 하는 기본적인 과정이다.

○ 이 논문에서는 Al합금 물질의 기계적인 장력 특성을 독창적인 방법으로 연구를 하였다. 이를 위해 측정 표본을 MEMS 공정으로 제작하여 직접 힘-변위 관계를 가장 직접적인 방법으로 측정하였다. 이 과정에서 어려움도 존재하지만 실제로 이러한 측정이 가능함을 보였고 이를 통해서 자세한 장력특성을 알 수 가 있어서 센서재료 및 on-off 스위치에도 사용 할 수 있으리라 생각 된다.

○ 이 논문에서 다루는 내용은 다른 물질에도 동일하게 적용 가능한 방법이라는 점에서 그 효용가치가 더 높다. 이러한 연구를 통해 물질의 기계적 특성에 대한 기본적인 자료가 쌓이게 되면 실질적으로 MEMS 기술 발전에 많은 도움이 될 것으로 생각된다.

저자: Robert Modlinski, Robert Puers, Ingrid De Wolf
자료유형: 학술정보