내 신청현황
종류	모집공고명	진행상태
신청내용이 없습니다.

알림마당

home

압전 막의 레이저 어닐링

전문가 제언: ○ 레이저가 모든 산업분야에서 널리 사용되고 있으며, 그 용도 개발이 점점 확대되고 있다. 특히 최근에는 전자분야·디스플레이 공정에 레이저를 적용한 장비가 확산되고 있다.

○ 예로 반도체·평판디스플레이 공정에서 비정질 실리콘(a-Si) 상태의 원판 및 FPD 유리 기판을 경질(poly)로 변환시키는 것이나, 고온의 열처리 방식의 공정을 레이저로 대체하여 생산효율 향상과 원가를 절감하고 있다.

○ 현재 레이저 어닐링은 자외선 파장 영역에서 발진하는 엑시머 레이저이며, 일반적으로 308㎚ 파장의 XeCl 레이저가 사용되고 있다. 그러나 엑시머 레이저는 고전압을 인가하여 발진하는데 가스 레이저이므로 사용에 따른 레이저 가스의 순도와 노화 등의 문제가 있어 다른 레이저도 개발이 되고 있다.

○ 이 문헌은 전자기기에 사용되는 각종 박막 중에 압전 막의 압전성 향상을 위하여 에어로졸 방법으로 박막을 제조하고 레이저를 이용하여 어닐링을 실시하였다. 어닐링을 실시 후의 시료에 대하여 압전성에 대한 시험을 기존의 전기로 어닐링과 비교하여 물성을 조사하였다.

○ 특히 압전 박막의 제조와 이를 위한 기판으로 가공이 용이한 금속기판에 대하여 검토하였다. 박막 제조는 진공을 이용하는 공정이 많이 사용되나 이는 제조원가 등에서 AD방법에 비하여 열세이다. AD방법은 상온에서 가능하다는 장점이 있어 향후 세라믹 코팅에 많은 관심이 가는 분야이다.

○ 국내에서도 AD방법이나 레이저 어닐링에 대한 관심이 많으며, 이와 관련한 연구 문헌도 발표되고 있다. 특히, 레이저 어닐링 장비는 국내서도 개발되어 현장에 적용하는 단계에 있는 것으로 알려졌다. 레이저를 이용한 열처리 응용분야의 확대를 위한 많은 연구가 있기를 바란다.

저자: So Baba
자료유형: 학술정보