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SnO2,MWCNT 복합체 NH3 가스센서

전문가 제언
○ 상온에서 작동하는 SnO2/MWCNT 복합체에 근거한 NH3 센서가 박막 마이크로전자기술에 의하여 제작되었다. 가스에 민감한 복합체 박막이 상용 다층 벽 탄소나노튜브(MWCNT)와 나노 크기의 SnO2 분산을 사용하여 제작되었다.

○ 복합체의 미세구조와 표면구조가 연구되었는데, MWCNT가 550℃까지 소성온도(燒成溫度)에서 복합체 분말과 복합체 박막에 잘 존재하고 SnO2 입자들에 의하여 잘 묻혀있다.

○ 가스센싱 성질에 대한 민감한 복합체의 박막 제조과정의 영향이 조사되었고, MWCNT 성분, MWCNT 지름, 소성온도 및 막 두께가 최적화 되었다.

○ 상온에서 최적 복합 센서는 CNT 기반 NH3 센서와 비교해서 60~800 ppm 범위 농도의 NH3 가스에 훨씬 높은 응답과 더 빠른 5분 이내 응답회복을 보였다.

○ 실험적 관측에 근거하여 CNT/SnO2 복합 센서의 결정입계(grain boundary)에서 전자전도도에 잠재적 장벽의 모델이 논의되었다.

○ 충남대의 Hoa Nguyen 등은 단일 벽 탄소나노튜브(SWCNT)와 SnO2의 나노 복합물을 갖는 암모니아 가스센서를 제작하는 간단한 방법을 제시했다. 나노복합물은 반도체적 성질을 보였다.

○ 암모니아 가스에 노출되면서 SWCNT 나노 복합물 센서의 전기저항이 급히 증가하였다. 센서는 상온에서 10ppm까지의 NH3 농도를 감지할 수 있었으며, 100초 이내의 반응시간, 좋은 감지반응 및 회복을 보였다.

○ CNT 기반 센서는 국내에서도 한국화학연구소, POSTECH, 고려대, KAIST, 충남대 등에서 많은 연구가 진행되고 있는데, 국내에서 생산해 해외에 수출할 수 있는 우수한 제품을 상품화 하는 것이 중요하다.
저자
Nguyen Van Hieu, Luong Thi Bich Thuy, Nguyen Duc Chien
자료유형
학술정보
원문언어
영어
기업산업분류
정밀기계
연도
2008
권(호)
129
잡지명
Sensors and Actuators B
과학기술
표준분류
정밀기계
페이지
888~895
분석자
신*순
분석물
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