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의료분야에 대한 고밀도 플라스마의 응용

전문가 제언: ○ 플라스마는 열,광,고반응성 화학종 등을 쉽게 생성할 수 있고, 전자장에 의해 제어가 가능해서, 이 기능성을 이용한 연구나 산업에의 응용이 활발하게 이루어지고 있다. 예를 들어 재료 프로세스, 환경,에너지, 광원,레이저, 바이오,의료, 반도체 프로세스라고 하는 산업분야에의 응용이나 플라스마 액추에이터 등의 연구 분야에의 전개가 적극적으로 추진되고 있다.

○ 실용화가 활발히 진행되고 있는 고밀도 플라스마의 예로서는 고체 원천 ECR(Electron Cyclotron Resonance) 성막의 광 반도체 장치에의 응용을 들 수 있다. ECR 플라스마 흐름의 저 에너지, 고밀도 이온 조사(照射)에 의해 반도체 표면의 세척이나 산화․질화처리가 가능하다. 또한, ECR 플라스마류를 이용한 고체 원천 성막은 저온, 저손상이므로 고품질의 박막을 제공한다.

○ 마이크로 플라스마는 산화, 환원, 불활성 등 여러 가지 프로세스를 구축할 수 있고, 실리콘 입자의 연속 합성을 실현한 것에 의의가 있다. 이 프로세스는 단독 이용이나 기존의 재료 합성 프로세스에 응용하면 큰 파급효과를 낼 수 있어 발전이 크게 기대되는 학술분야이다.

○ 최근 들어 의료분야에서는 여러 가지 방전법에 의한 멸균시험이 행해지고 있으며, 이들의 수법은 플라스마 의료나 의료기구를 멸균하는 데 응용되기 시작하였다. 의료기구의 플라스마 멸균은 안전하고 간편하게 멸균함으로써 병원 내에서 이용하는 의료기구나 설비 등에 의한 감염을 저감시킬 것으로 기대되고 있다. 특히 저침습성 의료에서 이용되고 있는 카테테르 멸균은 오늘날 산화에틸렌 가스 멸균이 이용되고 있다.

○ 일본에서는 플라스마의 고밀도화를 위하여 새로운 플라스마 원의 개발과 고전압의 펄스 인가기술, 그리고 이들을 합리적으로 운용하기 위한 복합 시스템 기술을 개발하고 있다. 또한, 일본에서는 플라스마 이온 주입과 증착이 박막을 형성하는 반도체 제조기술과 고온 초전도 물질과 같은 신 재료 제조기술의 원동력이 되고 있다.

저자: Masaaki Nagatsu
자료유형: 학술정보