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박막 Devices에 의한 인공망막

전문가 제언: ○ 인공망막은 p/i/n박막 Photo-transister와 poly Si 박막 트랜지스터에 의해서 인공적으로 망막을 연구개발한 최초의 인공망막 고안품으로서 이 인공망막은 감도(感度)를 통제하면서 조도(照度)를 검출할 수 있다는 것이 확인되었다. 또한 이 인공망막은 인체에 무해한 기판으로 제작되었기 때문에 생체 내에 매립하여도 이상 없이 적합할 것으로 생각되고 있다.

○ 이 리뷰에 의하면 이들의 박막장치는 3차원 적층화도 가능한 것으로서 생체망막과 같은 모양으로 박막 photo device의 수광(受光) 면적을 좁히지 않고도 높은 해상도화가 가능함과 동시에 각층에 수광이나 가장자리의 강조라든가 방위검출, data 압축이나 pulse 생성 등 각 기능을 나누어 맡는 것도 가능할 것으로 보인다.

○ 인공망막은 순응전압이나 바이어스(Bias) 전압으로 적당한 전압을 인가함으로써 감도를 통제하면서 조도를 검출되는 것이 확인되었다. 또한, 어느 정도의 p/i/n 박막 Photo-transister와 poly Si 박막 트랜지스터의 특성이 불균형으로 인한 소음은 있겠으나 조도분포에 대응해서 출력전압을 출력하고 있는 것도 알 수 있다.

○ 지금까지는 박막 전자 사진장치(Thin-Film Photo Devices)로서 p/i/n 박막 Photo-diode나 p/n 박막 Photo-diode을 사용하여 왔으나 이들의 박막 Photo-device는 액정전시물로 널리 사용되고 있는 poly Si 박막 transister와 같은 제조과정에 의해 제작되는 것으로 알고 있다.

○ 또한 한층 개량된 박막 전자 사진장치는 인과 붕소 이온을 넣어 열 활성화하여 p형 영역과 n형 영역으로 제작하고 수소 플라스마 처리, 산소 플라스마 처리와 끝으로 수증기 처리에 의해 Poly Si 및 게이트(Gate) 절연막과 그들의 계면(界面)을 개질한다. 즉, 기존에는 유리 기판을 사용하고 있으나 플라스틱 기판으로도 제작이 가능하다.

저자: Mutsumi Kimura, Yoshitaka Nishizaki
자료유형: 학술정보