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불소 첨가 DLC막의 제균특성과 트라이볼로지

전문가 제언: ○ 고밀착성 DLC막의 개발을 위해 이온 주입법을 사용함으로써 100N의 내하중을 가진 DLC막을 만드는 것이 가능하게 되었다. 또한, 저마찰,저마모 DLC막에 대해 펄스 바이어스 전압법에 의한 플라스마 CVD법에서 종래에는 없었던 특성을 가진 DLC막의 제작이 가능하게 되었다.

○ DLC막은 우수한 표면 개질성뿐 아니라 절연성, 내식성, 적외선 투과성 등도 우수하기 때문에 광범위한 산업분야에서 응용될 것으로 기대된다. 또한, 앞으로 점점 더 성막의 생산성, 조업기술 및 피막특성의 향상이 요구될 것이므로 DLC 박막기술이 한층 더 각광을 받게 될 것이다.

○ 트라이볼로지(Tribology)란 마찰․마모․윤활 및 이와 관련된 학술분야로서 기계수명의 약 75%는 마모가 그 원인이라고 말할 수 있다. 또한, 작은 기계요소 1개가 파손되거나 마모됨으로써 거대한 시스템의 고장 정지를 일으키므로 기계 시스템의 정밀도 향상, 신뢰성 향상 및 안전성 향상 등을 위해 트라이볼로지에 기초를 둔 설계가 반드시 필요하게 되었다.

○ 최근 들어 트라이볼로지는 나노 기술과도 접목되어 나노 트라이볼로지 기술로 발전하면서 나노 제조기술과 박막의 역학적 물성 측정과 연구에 의해 자기 자장장치 증 경계면 현상을 해석하는 데 도움을 주고 있다. 또한, 트라이볼로지는 인체에 필요한 인공관절의 개발을 위해 필수적인 기술이라고 할 수 있다. 그런데 이 트라이볼로지는 아직 많은 과제를 남겨두고 있는 분야로서 지속적인 연구가 추진되어야 할 것이다.

○ 일본에서는 화학증착에 의해 성막되는 DLC막에 대한 특허출원건수는 850건이나 된다. 이 중에서 플라스마 CVD가 75%이고, 나머지가 25%(열 CVD 18%, 빛 CVD 3%, 기타 4%) 정도다. 우리나라의 경우, KIST의 DLC막 연구실험실에서 DLC막을 전 산업에 활용하기 위한 연구가 폭넓게 추진되고 있다.

저자: Masatou ISHIHARA, Tomomi KOSAKA, Toshiya WATANABE, Fumio KOKAI, Yoshinori KOGA
자료유형: 학술정보