자기 미세기계용 Nd-Fe-B 후막 제조 및 특성화

전문가 제언

○ 미세기계(micromachine)는 마이크로 시스템, 마이크로 메커트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 다른 말로 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 현미경에 의하지 않고서는 형체를 알 수 없을 정도로 작은 기계가 공상소설의 영역을 벗어나 이제 현실공학의 새로운 분야로 정착되었다.

○ 마이크로 로봇을 인공적으로 만들어서 미소한 운동이나 작업을 시키려고 하는 것이다. 각종 센서, 논리 회로, 마이크로 메커니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수㎜에서 수㎛까지에 이르며 수㎝ 크기라 해도 마이크로 머신이라고 불리는 경우도 있다.

○ 미세기계를 작동시켜야하는 모터에 들어가는 자석은 마이크로 머신의 핵심 부품이다. 이 자석은 PLD(Pulsed Laser Deposition) 방법으로 만들어진다. PLD는 스퍼터링 등과 함께 박막을 만드는 물리 증기 증착의 한 방식이다. 금속, 절연체, 산화물, 폴리머 등 모든 고체물질의 박막증착이 가능하다. 타깃 조성이 박막조성과 유사하게 된다.

○ Nakano 등은 Nd-Fe-B 후막자석의 제조와 특성화를 리뷰 하였다. 등방성 Nd-Fe-B 후막자석은 고속 PLD 방법에 의하여 90㎛/h의 퇴적 속도로 퇴적되어 포화보자력을 강화하기 위한 후-열풀림 공정으로서 펄스 열풀림이 사용되었다.

○ 높은 퇴적 속도아래의 기판 가열 시스템의 사용은 약 120kJ/m3의 (BH)max를 갖는 이방성 후막을 얻을 수 있게 한다. 이는 미세기계의 특성에서 향상 가능성을 보여주는 것이다. 새로운 미세기계 조립이 등방성 후막의 도입으로 가능하게 된 것이다.

○ 원문 제1장 서문에서 「Since Cadieu [6] has reported (중간 생략) sputtering-made anisotropic thick film magnets prepared under the high deposition rate of 20-40 ㎛.」는 전후 문맥으로 보아 「20-40 ㎛」가 아니고, 「20~40㎛/h」가 옳다고 판단되므로 분석자 임의로 수정하였다.

저자

M. Nakano, S. Sato, F. Yamashita, T. Honda, J. Yamasaki, K. Ishiyama, M. Itakura, J. Fidler, T. Yanai, H. Fukunaga

자료유형

학술정보

원문언어

영어

기업산업분류

재료

연도

2007

권(호)

43(6)

잡지명

IEEE transactions on magnetics

과학기술
표준분류

재료

페이지

2672~2676

분석자

최*수

분석물

• 자기 미세기계용 Nd-Fe-B 후막 제조 및 특성화.pdf [218,473 byte]

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