내 신청현황
종류	모집공고명	진행상태
신청내용이 없습니다.

알림마당

home

정전기적 구동 MEMS 스위치의 설계와 해석

전문가 제언: ○ MEMS(micro-electro-mechanical system) 기술은 세계적으로 급속히 발전하고 있다. 특히 정밀기기분야의 라디오 주파수대에서 응용분야가 넓이지고 있다. 특히 RF 스위치는 MEMS 기술에 의하여 그 특성이 많이 향상되고 있으며 장점은 좋은 분리성, 낮은 삽입손실, 적은 전송손실 그리고 큰 전력을 취급할 수 있는 점을 들 수 있을 것이다. 특히 RF MEMS 스위치가 여러 가지 초고주파 응용에 이용되는 것에 관심이 집중되고 있다.

○ RF MEMS 스위치와 같은 정밀부품은 실리콘과 같은 반도체기술은 물론이고 정밀 기기의 설계 및 가공기술이 발전한 나라, 즉 전자공업과 정밀기계공업이 발전되어야만 가능한 것이다. 또한 그 성능의 해석은 대형 컴퓨터만이 가능한 FEM(finite element method)을 사용하게 되어 선진국이 아니면 새로운 제품의 개발이 불가능한 것이다. 우리나라에 적합한 개발 분야이다.

○ 이 글에서는 3가지의 전기적으로 도통하는 연결 빔을 설계하고 이의 특성을 FEM으로 해석하였다. 비교적 상세한 내용을 짧게 잘 요약하여 놓았다. 신호접속부위에서 스위치 삽입손실이 0.5㏈이하이며 분리도는 10㎓에서 35㏈이상으로 조사되었으나 주파수가 낮아짐에 따라 분리도는 더욱 나빠질 것이므로 더욱 낮은 주파수에서 분리성(isolation)이 아쉽다. 스위치 작동관계에 대한 상세 구조설명이 필요하다.

○ 구체적인 규격과 특성 및 해석결과는 명쾌하여 곧바로 제3자가 재현시킬 수 있어 이와 유사한 설계를 시도해 볼만한 가치가 있다. RF 스위치나 구동부분이 있는 MEMS 제품을 만들고 해석하는 데 유효한 자료가 된다. 이후 RF MEMS 스위치가 필요한 안테나회로, 임피던스 정합회로, 위상배열 레이더, 튜닝회로, 송수신기 등등에 응용해볼 만한 가치가 있다.

저자: Yeong-Lin Lai, L.-H. Chang
자료유형: 학술정보