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나노 특성규명을 위한 자동화된 마이크로로봇 기반 나노-조정 스테이션(AMNS)의 개발

전문가 제언: ○ 말단장치로 원자 힘 현미경(AFM) 탐침을 사용한 자동 마이크로로봇기반 나노조절 스테이션(AMNSs)의 개발에 대한 현재 연구 작업이 제시되었다. 개개 다중 벽 탄소나노튜브(NWCNT)의 조작과 진핵세포의 특징 부여가 열망하는 응용분야이다.

○ 이런 이유로 개발된 AMNS가 CNT의 나노조작을 위해 주사현미경(SEM)으로, 세포 특성규명을 위해 광학현미경으로 두 개 모두 결합되어야 한다. 그와 같은 AMNS가 목적물과 말단장치사이의 거칠고 정교한 위치확인을 수행하기 위하여 각각 세 단계의 자유도를 제공하는 다른 마이크로 및 나노 조작기들을 결합한다.

○ 압전 저항성의 AFM 탐침이 작용 힘을 측정하고 스테이션의 제어 시스템을 위한 힘의 피드백을 실현하기 위하여 말단장치로 응용되었다. 최초의 조사가 MWCNT의 굽힘과 MWCNT의 영계수 계산에 의하여 수행되었다.

○ 전도성접착제(ECA)가 마이크로전자산업을 위하여 개발되었고 그들의 역학적 성질이 결정되어야 했다. 그래서 SEM 내부의 나노 압흔 경도에 의한 박막 ECA 코팅의 역학적 특성규명을 위한 AMNS도 첫 실험결과를 보이면서 제시되었다.

○ AFM은 여러 가지 영상 모드에 의해서 정성적인 정보를 제공하지만 만약 보정된 캔틸레버가 사용되면 정량적인 정보도 제공할 수 있다. 샘플과 AFM 팁 사이의 상호작용 힘을 측정할 때는 AFM 캔틸레버의 강성의 정확한 값이 필요하다. 그래서 AFM에 사용된 캔틸레버를 보정할 능력이 기본적으로 중요하다.

저자: Sergej Fatikow, Volkmar Eichhorn, Florian Krohs, Iulian Mircea, Christian Stolle, Saskia Hagemann
자료유형: 학술정보