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탄소나노튜브의 제작방법

전문가 제언
○ 탄소나노튜브(CNT)는 1991년 NEC의 S. Iijima에 의해 발견된 이후, 그의 특이한 형상과 성질 때문에 근년 나노기술 분야를 중심으로 하여 반도체나 의료, 바이오 등의 다양한 분야에서의 응용이 진척되고 있다. CNT의 응용분야로는 CNT가 큰 종횡비(aspect ratio)를 가지는 동시에 끝부분의 곡률반경이 매우 작기 때문에 주사형 프로브현미경 탐침이나 전계방출원의 용도가 가능하다. 또한, CNT는 기하학적인 구조의 특징에 더하여 매우 경량이면서 탄성률이 대단히 크기 때문에 나노전기기계시스템(NEMS) 등의 구축 부품재료로서도 기대되고 있다.

○ CNT의 최초 제법은 아크 방전법이었으나 근년 가장 상업적으로 매력적인 제법은 CVD법이다. 화학적 합성법으로는 촉매에 의한 화학기상증착(CCVD)법이 CVD법보다 우수한 실험결과를 나타내고 있다. 본 특허에서는 반응관의 내부에 설치한 기판의 표면에 열 CVD법에 의해 CNT를 기상 성장시킬 때 반응관의 온도를 원료가스의 열분해 온도보다 낮은 온도를 유지함으로써 반응관의 내벽면 또는 기판 상에 검댕이 퇴적되는 종래의 문제를 해결하였다. 이 방법에 의해 균질의 CNT를 합성하는 것이 가능할 것으로 보인다.

○ CNT는 현재 개발단계에서 응용단계로 넘어가고 있는 성장기술이라 할 수 있다. 본격적인 경제성을 갖기 위해서는 주변기술과 응용기술의 개발을 통한 기술적 한계의 극복과 고부가가치화 및 대량생산에 의한 생산수율의 확보가 선행되어야 한다. 현재 핵심기술에서 응용기술로 진입하는 단계로 아직 시장규모는 미미한 상황이다. 우리나라의 반도체 기술이 세계의 선두주자이므로 이를 융합함으로써 CNT 시장의 확대가 기대된다.

○ 나노기술은 복합기술로서 여러 기술 분야가 융합되어야 하는 특징이 있으므로 연구의 효율화를 위해서는 산학연간, 학제간의 전문가들이 컨소시엄 형태로 완전히 밀착되어 연구개발 내용을 상호 공유함으로써 시너지효과를 얻을 수 있는 체계로 운영되는 것이 바람직하다.
저자
Ulvac Co.
자료유형
특허정보
원문언어
일어
기업산업분류
화학·화공
연도
2008
권(호)
JP20080050175
잡지명
일본공개특허
과학기술
표준분류
화학·화공
페이지
1~8
분석자
황*일
분석물
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