ITO 대체용 투명도전막

전문가 제언

○ 투명도전체 박막으로는 1907년 CdO가 최초로 개발된 이래로 ZnO, ATO(SnO2:Sb), FTO(SnO2:F), ITO 등 많은 재료들이 보고되고 있으며, ITO는 가시광선 영역에서의 높은 투과율과 높은 전기전도도 외에도 여러 종류의 기판들에 대한 우수한 부착력 등의 기계적 안정성과 화학적 안정성이 뛰어나 가장 널리 사용되어 왔다.

○ ITO는 우수한 특성을 보유하고 있음에도 불구하고 주성분인 In의 공급부족으로 대체재료의 개발이 시급한 상황이다. 현재까지는 SnO2박막(NESA 박막)들도 부분적으로 적용되고 있으나, 박막형성 후 전극형상으로의 가공이 어려운 점 등이 확대 사용에 걸림돌로 작용하고 있다.

○ TiO2를 모체로 하는 TNO 박막이 새롭게 제안되었다. 연구의 초기단계이기는 하나 시드층을 결정성장의 핵으로 이용하는 2단계 증착방법은 비저항 값과 광투과율 면에서 ITO에 필적할만한 우수한 특성을 보이고 있다. 결정성장과 공정 관련해서 앞으로 해결해야 할 과제들이 많은 것도 사실이다.

○ TNO 박막은 SnO2계 박막과 함께 지속적으로 관심을 가져 볼만한 재료이다. 투명도전막은 응용분야가 넓고 수요도 비약적으로 증가하고 있는 기능성 재료로서, 관련 산업분야에 대한 파급효과도 크므로 활발한 연구가 기대되는 분야이다. 특히 확대 보급되고 있는 LCD, PDP, 유기EL 등 평판디스플레이 분야와 태양전지분야에서의 연구성과를 기대해 본다.

저자

YAMADA Naoomi, HITOSUGI Taro, Hoang Ngoc Lam Huong, HASEGAWA Tetsuya

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2008

권(호)

78(1)

잡지명

金？　

과학기술
표준분류

재료

페이지

26~32

분석자

김*동

분석물

• ITO 대체용 투명도전막.pdf [223,973 byte]

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