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DLC층으로 된 자립성 복합층 막의 제조방법

전문가 제언: ○ 기판 위에 이형제를 바른 후에 탄소막 사이에 DLC(Diamond-like Carbon) 층을 샌드위치로 끼워 넣어 복합재료로 된 막을 증착하고, 어닐링열처리를 한 다음, 기판으로부터 복합재료로 된 탄소막을 제거하여 제조되는 자립성(self-supporting) 복합층 막은 수명이 대폭 개선되고 품질이 우수하여 향후 획기적인 제조기술로 각광을 받을 수 있을 것으로 예상되고 있다.

○ 지금까지 비정질 탄소와 DLC 막으로 표면 처리하는 방법으로서는 화학증착법, 저압 화학증착법, 플라즈마 화학기상증착법, 펄스레이저 증착법, 레이저 용제법, 전기방전법, 극초단파 플라즈마, 고밀도 플라즈마, 전자사이클로트론공명 화학증착법 등이 있다. 국내관련 산업체에서는 이 중에서 가장 효율적인 제조방법을 찾아내어 자체기술로 조속히 개발하여야 할 것이다.

○ 수명과 품질특성(강도, 강성, 열전도 등)이 개선된 우수한 자립성의 탄소박막을 제조하기 위해서는 제조 시에 탄소박막이 동그랗게 말리거나 주름지는 것을 피하여야 하며 박막(foil)이 잘못 벗겨지거나 빔 충격으로부터 부스러지기 쉽고 손상을 받기 쉬워서는 안 된다. 특히 잔류 인장력이 거의 없는 탄소중간층이 형성되어야 한다. 이러한 불량을 방지하기 위한 제조방법이 특별히 강구되어야 한다.

○ 한국생산기술연구원에서는 자동차 피스톤링, 슬라이딩 부품, 에어컨 베인 등에 사용할 수 있는 밀착력이 높으면서 마찰계수가 낮은 DLC라는 윤활코팅을 간단하게 처리하는 기술을 개발하여 양산화를 앞두고 있다. 또한 국내 각처에서 DLC의 연구개발에 심혈을 기울이고 있는 연구기관(포항산업과학연구원 등)과 기업체에서 도움이 될 수 있는 자료로 기대된다.

저자: ZEISLER, Stefan, K.
자료유형: 특허정보