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이온빔 여기 방식의 전하 현미경 고찰

전문가 제언: ○ 이온빔 분석은 박막, 표면 및 벌크시료의 분석에 이르기까지 매우 다양한 용도로 활용되고 있다. 특히 박막의 특성평가에 있어 이온빔 분석법은 거의 필수 불가결한 수단으로 자리매김이 되어 있다. 그럼에도 국내의 경우 아직도 그 사용빈도가 극히 미미한 수준에 머물러 있다. 따라서 국내에서 이온빔 분석의 유용성을 인식하여 이 분야에 대한 연구가 필요하다.

○ IBIC 기술은 반도체 재료들과 반도체 방사 검출기에서의 전하 집합체의 특성들을 평가하는 데 사용될 수 있는 집속된 이온 빔에 대한 주목할 만한 능력을 나타내고 있다. 반도체 재료들에 관한 새로운 재료 개발은 IBIC 응용 기술 개발을 필요로 하고 있다. 따라서 새로운 방사 검출 재료들에 관한 연구에서 IBIC의 이론적 및 실험적 측면에 관한 발전이 요구된다.

○ IBIC 생성과 집속에 관한 이론적 모델이 일차원 모델로부터 발전되어 왔지만 응용성 확대를 위해 3차원 모델 개발에 대한 연구가 필요하다. 3차원 수학적 모델 연구는 보다 더 실제적인 IBIC 응용 기술개발을 위한 연구다.

저자: Breese, MBH; Vittone, E; Vizkelethy, G; Sellin, PJ; AF Breese, M. B. H.; Vittone, E.; Vizkelethy, G.; Sellin, P. J.
자료유형: 학술정보