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주사형 다중탐침 현미경에서 복수탐침의 나노 스케일 위치인식 기술

전문가 제언: ○ STM(Scanning Tunneling Microscope: 주사형 터널 현미경)을 이용한 고체표면의 원자, 분자를 다루는 나노 기술은 그 역량을 한층 높여 극미세 나노 조직의 기저를 연구하는 것이 가능하게 되었다. 반도체산업 기술도 해마다 발전하여 집적회로에 65㎚ 공정 적용이 실용화되었다.

○ 나노 스케일의 구조를 구축하는 기술의 진전에 따라 나노 구조의 측정과 평가기술의 중요성은 더욱더 높아지고 있다. 새로운 양자효과 디바이스의 개발은 나노 구조 평가기술 없이는 실행할 수 없는 형편이다.

○ 앞으로는 1㎚ 분해능의 정도(精度)로 IC 회로의 결함부위를 검출할 필요성이 있게 된다. 이러한 요구에 부응하여 MpSPM(Multiple Scanning Probe Microscope: 다중 주사형 탐침 현미경)이 탄생되었다.

○ MpSPM은 개개의 나노구조 관찰과 물성계측을 동시에 실현하는 새로운 물성 계측장치로 관심을 모으고 있다. 본고에서는 4개의 탐침을 다중으로 제어하는 시스템의 연구ㆍ개발에서 얻어진 성과를 소개하였다.

○ 최근, 국내 연구진(ETRI)이 고진공 주사형 터널링 현미경(STM)을 이용해 유기금속 단일분자의 전류 스위칭 시작 메커니즘을 규명하는 데 성공했다. 이로 인해 자기조립 단분자막 소자 스위칭 현상규명, 분자 메모리 소재에의 적용, 고체상에서 유기분자의 스위칭 현상 등을 규명할 수 있게 되었다.

○ 나노 기술의 적용 및 그 응용성은 무한대에 가깝다. 이와 같은 극미세 분야에 대한 연구가 이어져 MEMS를 비롯한 최첨단 기술이 더욱 활성화되기를 기대한다.

저자: Seiji Higuchi, Olivier Laurent, Kenichi Obori, Tomonobu Nakayama
자료유형: 학술정보