청정 환경에 사용하는 구름 베어링

전문가 제언

○ 베어링 중에서 유체 윤활 베어링(Fluid Film Bearing)은 수많은 기계요소 가운데서 제일 긴 역사를 가진 것 중의 하나이다. 그러나 구름베어링이 크게 발달하고 청정 환경이 요구되고 있는 현재에는 액상 윤활제가 없거나 적은 구름 베어링의 중요성이 날로 커지고 있는 실정이다.

○ 플라스틱 베어링은 청정 환경을 요구하는 FPD(Flat Panel Display; LCD/PDP/OLED) 제조공정의 운송장치에 주로 적용되는 베어링 재료다. 베어링이 사용되는 환경에 따라 건식용과 습식용으로 구분할 수 있는데, 청정 환경용 건식 베어링은 무윤활 구동에 따른 마모발생이 심할 수 있으므로, 작용하중 및 회전속도에 따라 마모 특성을 최소화할 수 있는 사양의 선정이 필요하다.

○ Ono 등은 반도체 산업 발달 등에 따르는 청정 환경용 구름 베어링의 오염 배출 감소 요구에 부응하기 위하여 청정 환경 하에서 요구되는 구름 베어링의 특성에 대하여 고찰하고 재료, 윤활제, 표면 품질의 개선 및 사용 사례에 대하여 소개하고 있다.

○ IT 강국을 자부하는 한국은 청정 환경 문제가 당면의 큰 과제로 되어 있으므로 청정 환경에서 오염을 가장 많이 배출하는 구름 베어링의 오염 배출 감소에 관심 있는 생산 현장 종사자와 연구 종사자에게 Ono의 해설은 도움이 될 것으로 사료되어 추천하는 바이다.

저자

Hiroshi ONO, Yoshiki FUJII

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

재료

연도

2007

권(호)

52(11)

잡지명

？？？？？？？？？？(TRIBOLOGIST）

과학기술
표준분류

재료

페이지

777~782

분석자

최*수

분석물

• 청정 환경에 사용되는 구름 베어링.pdf [216,699 byte]

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