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반도체 제조공정에서 오존수의 응용

전문가 제언: ○ 오존은 대기 중에 소량이 항상 존재하는 무색의 기체로서 자연적으로 번개와 같이 고전압의 전기가 발생할 때 발생하며 또는 해변이나 산의 삼림이 많은 곳에서 상쾌함을 느끼는 것은 오존에 기인한 것이다. 이것은 오존과 음이온을 통해 정화할 수 있는 능력이 있기 때문이다.

○ 오존은 산소분자(O2)하나에 산소원자(O)하나가 결합하여 강한 산화력이 있는 원소 O3이 된다. 이 산화력은 살균이나 소독 또는 세정이나 세척제로 이용할 수 있는 것이다.

○ 본고에서는 반도체의 제조공정에서 세정제로 이용할 수 있는 오존발생기의 원리에 대하여 소개하였으며 이 오존발생기는 유전체 고전압 전극과 세라믹전극 사이에서의 고압방전에 의하여 오존을 생성하는 방전 식 오존발생기이다.

○ 최근 오존수는 방전이나 물의 전기분해 등으로 산소나 공기에서 발생된 오존가스를 기액 혼합장치(氣液混合裝置)로 물에 용해하여 생성시키거나 또는 물을 전기분해하여 그대로 오존수를 생성시키는 직접 전기분해법이 개발되었다.

○ 오존은 산화 후에 화학적인 성질을 남기지 않고 2차 오염을 유발하지 않는 것으로 산업분야의 반도체 제조공정에서 세정을 비롯하여 의약품제조, 화학공업, 펄프제지의 표백, 냉각탑의 살균, 소독, 탈취 등 많은 분야에 이용되고 있는 것으로 앞으로 저렴하고 용이하게 이용할 수 있는 제품의 개발이 기대된다.

저자: Makoto MIYAMOTO
자료유형: 학술정보