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초정밀 플라스마가공이 개척한 첨단나노디바이스

전문가 제언: ○ 플라스마는 정·부로 대전된 입자가 공존하여 전체가 전기적으로 중성인 물질의 상태이다. 그 중에는 프리라디칼 등의 전기적으로 중성인 물질도 공존할 수가 있다. 물질을 가열해가면 고체에서 액체로 그리고 기체로 변화하고, 다시 고온으로 하면 분자의 해리나 원자의 전리가 일어나 플라스마를 생성한다. 전자파나 방전에서도 생성한다.

○ 금속이나 반도체 내의 자유전자와 금속이온 그리고 정공도 일종의 플라스마라고 볼 수 있다. 유기화합물의 기체를 플라스마상태로 하여 기판 상에 포박막중합체를 생성하는 플라스마중합이나 기판 상에 화학증착(CVD), 에칭 등의 박막생성이나 초정밀가공을 할 수 있다. 여러 가지 재료의 코팅, LSI, 초LSI 등의 제조에서는 빼놓을 수 없는 기술이다.

○ 나노테크놀로지는 나노미터(㎚)크기의 물질 제조에서 새로운 기능을 창출하는 기술의 총칭이다. 정보기술이나 환경, 바이오, 재료 등 넓은 범위에서 기술혁신을 가져올 것으로 기대되고 있다. 특히 반도체기술이나 기록기술, 광기술 등은 종래 기술의 연장선상에서 5~10년 후에 집적도나 성능의 한계를 초과하게 될 것이 예상되어, 새롭고 획기적인 약진기술로서 나노테크놀로지가 기대되고 있다.

○ IT기술의 중심디바이스인 시스템 LSI나 메모리에서 가까운 장래에 50㎚ 이하의 기술개발이 불가결해진다. 또 양자다트 등을 사용한 새로운 나노 광·양자디바이스는 고성능네트워크디바이스나 양자컴퓨팅 기술의 기본소자로서 기대되고 있다. 이와 같은 개발영역은 새로운 재료와 프로세스, 극한계측 등의 기술개발, 특히 원자·분자레벨에서의 제어에 기초한 나노테크놀로지에 의해 앞이 열리게 될 것이다.

저자: Seiji SAMUKAWA
자료유형: 학술정보