온 웨이퍼 MEMS 테스트 시스템

전문가 제언

○ 본문에서는 극한 환경의 온도나 압력에서 직접 디바이스를 테스트하는 대신 온 웨이퍼 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 테스트 시스템에 대해 설명하고 있다. 온 웨이퍼 MEMS 테스트시스템은 생산비용과 생산기간을 단축하여 테스트 경비를 절약할 수 있어 MEMS메이커의 수익성을 향상시킬 수 있다.

○ MEMS 기술은 21세기를 주도할 첨단핵심 기술 중 하나로 최근에는 세계 각국이 그 기술경쟁이 치열하고 본격적인 상용화가 진전됨에 따라 향후에는 더욱 발전할 것으로 예상되고 있다. MEMS 기술의 역사는 20여년 밖에 지나지 않지만 소형화, 집적화, 저전력화, 저가격화 등의 기술특징을 이루었다. 이 MEMS의 이용은 전자산업, 바이오, 의료분야, 통신, 광학 및 가전분야 등 많은 분야에서 그 응용이 전망된다.

○ 일반적으로 MEMS분야 개발에서 가장 중요하게 취급되는 RF-MEMS (Radio Frequency MEMS) 관련기술에 대해 특허 분석한 결과, 1990년에서 2006년까지 미국 279건, 일본 62건, 한국 59건, 유럽 55건, 중국 31건 등으로 나타났다. 이들 국가의 비율을 산정해보면 미국이 55%로 가장 활발하고 일본 13%, 한국 12%, 유럽 11%, 중국 6%의 순으로 나타나고 있다. 우리나라는 2000년 이후 출원이 증가하는 추세이고 2004년 이후부터 급격히 증가하고 있다.

○ RF-MEMS 기술은 미국 내에서 출원이 가장 많고 미국 국적 출원인은 유럽(24건), 일본(11건), 한국(10건) 등에 골고루 출원하고 있다. 각국의 자국출원-율은 미국이 82%로 가장 많고 한국(60%), 일본(55%), 유럽(30%)의 순으로 나타나고 있어 한국은 자국출원 비율이 해외출원보다 높게 나타나 해외 국가 출원에 더욱 노력해야 할 것으로 판단된다.

○ RF-MEMS 디바이스, 마이크로 볼로미터 등과 같은 MEMS 디바이스 개발에서는 극한환경에서의 테스트가 필요하며 다양한 해법이 지금까지 제안되어 왔다. 본문에서는 MEMS 디바이스 테스트요건과 극한환경에서의 테스트 해법에 대해 설명하고 있다. 이러한 MEMS 디바이스 테스트 연구가 향후 MEMS 디바이스 제작에 도움이 되기를 기대한다.

저자

FRANK-MICHAEL WERNER, JOSHUA M.PRESTON

자료유형

학술정보

원문언어

일어

기업산업분류

전기·전자

연도

2007

권(호)

46(11)

잡지명

電子材料

과학기술
표준분류

전기·전자

페이지

71~75

분석자

오*섭

분석물

• 온 웨이퍼 MEMS 테스트 시스템.pdf [231,847 byte]

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