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CVD프로세스의 열유체현상 멀티스케일 해석

전문가 제언: ○ 화학 기상 증착법(CVD: Chemical Vapor Deposition)은 웨이퍼 위에 막을 형성하는데 화학적 반응을 조절하여 사용하는 넓은 과정 중에 하나로 다양한 유형의 층을 생산할 수 있으며 개선된 플라스마 혹은 RECVD라 불리는 CVD의 변형은 필름의 침전물과 화학적 반응을 얻는데 요구되는 온도로 낮추기 위해 가스 플라스마를 사용한다.

○ CVD 프로세스는 보통 마스크와 복잡한 IC의 금속 간 유전체박막을 만드는데 사용되어 왔으며 APCVD, LPCVD 그리고 PECVD 등, 다양한 종류의 CVD 등이 모두 IC 제조공정에서 전형적으로 사용되고 있다.

○ 열 유체는 자동차, 항공기, 선박 등 산업의 많은 분야에서 응용되고 있는 중요한 분야로 기체나 액체를 공기나 물처럼 유동할 수 있는 물질을 말한다. 일상생활에서 유체역학이 적용되는 쉬운 예로 선풍기에 유체역학이 적용됨으로써 적은 전기로 많은 바람과 적은 소음을 내는 선풍기를 만들 수 있어 효율과 상품성이 좋은 선풍기를 만들 수 있고, 공기 저항이 적은 차를 만드는 곳에도 유체가 적용된다.

○ 부산대학교 기계공학부 마이크로열유체연구실은 에너지, 정보, 환경 및 의료분야와 연관된 마이크로 스케일의 열 유체 유동 측정 및 해석 기술을 집중적으로 연구하고 있다. 특히 초소형 펄서레이저 기술과 영상해석 기술을 접목시킨 마이크로입자영상유속계(MPIV)의 개발은 기존의 열 유체 측정기술을 혁신적으로 바꿀 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다.

저자: Yukinori Sakiyama
자료유형: 학술정보