표면의 나노역학 특성평가
- 전문가 제언
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○ 나노 물질은 뉴턴 역학 등의 고전물리학으로는 설명할 수 없는 현상이 발생한다. 즉 마이크로 이상의 크기에서는 절연체가 나노 영역에서는 전자가 투과할 수 있다. 반도체 나노 결정(結晶) 등 나노 소재의 크기를 작게 하면 전자가 가질 수 있는 에너지 값이 불연속적이 되고 그 간격이 커진다.
○ 자기디스크와 같은 정보기계, 세포, DNA 등의 바이오 및 의료관계, 마이크로ㆍ나노 기계, 나노 전자디바이스, 나노 시스템 등의 분야에서 각종의 표면을 nm 규모로 평가할 필요성이 생기고 있다. 자기디스크 장치에서는 5nm 이하의 보호막과 1nm 정도의 윤활막이 형성되어 신뢰성을 유지하고 있다.
– 마이크로ㆍ나노기술 분야에서는 그 가공 표면의 성질, 특히 역학적 특성이 중요하여 나노크기의 특성평가 기술이 필요하게 된다. 따라서 이 글에서는 역학적 특성 평가항목을 5개 종류로 분류하여 소개하고 있다.
○ 주사형 터널현미경(STM)은 표면을 원자규모로 관찰하는 수단으로서 널리 이용되고 있다. 표면의 nm 규모의 특성을 평가하기 위해서 주사형 탐침현미경(SPM) 기술을 이용할 수 있다. 탐침(probe)에 의해 미소한 원자간 힘을 측정하는 원자간힘현미경(AFM)을 이용하면 nm 규모의 역학 특성이 평가된다.
○ 재료의 표면 근처ㆍ박막의 특성평가 기술의 중요성이 커지고 나노 테크놀로지가 전진하여 기계의 치수가 작게 됨에 따라 표면의 중요성이 커지고 극 표면의 역학적 특성을 평가하는 기술개발이 필요하게 되었다. 따라서 나노 물질의 개발과 더불어 이 연구개발은 향후 계속적인 발전이 계속될 것으로 생각된다.
- 저자
- MIYAKE Shojiro
- 자료유형
- 학술정보
- 원문언어
- 일어
- 기업산업분류
- 정밀기계
- 연도
- 2007
- 권(호)
- 73(8)
- 잡지명
- 精密工學會誌(日本)
- 과학기술
표준분류 - 정밀기계
- 페이지
- 859~863
- 분석자
- 송*국
- 분석물
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