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롤러 나노임프린트 기술

전문가 제언: ○ 나노임프린트는 나노 스케일의 미세한 패턴을 쉽게 높은 정밀도와 저 비용으로 형성할 수 있는 기술로서 최근 여러 분야에서 주목을 받고 있다. 나노임프린트는 PMMA 등 열가소성수지를 전사재료로 사용하는 열-나노임프린트와 저점성의 광경화성 모노머가 통상 사용되는 광-나노임프린트로 크게 분류된다. 나노임프린트 기술은 급속하게 발전하고 있으나 계속해서 해결되어야 할 발전 과제로 몰드 제작(제작기술, 내구성, 제조비용, 수정기술 등), 장치상의 과제(임프린트의 균일성, 배치의 정밀도), 검사기술, 양산성, 대면적화에 대처하는 기술 등이 거론된다.

○ 전사 대면적화 기술로는 대면적의 몰드를 사용하여 대형 프레스장치로 한번에 가열, 가압하는 일괄 전사프로세스가 있으나 거대한 프레스가 필요하고 프레스면의 온도 균일성, 프레스압력의 균일한 확보 등의 문제가 있어 실용화가 어려운 상태이다. 롤(roll) 전사방법은 롤을 이용하여 몰드의 패턴을 기판에 전사하는 방법으로서 일괄 전사방법에 비하여 저 하중(몰드와 기판의 접촉이 면 접촉과 상이한 선 접촉), 평행조정, 히터의 용이한 온도제어, 장치의 소형화, 연결 정밀도가 큰 대면적전사가 가능하다는 장점이 있다.

○ 본고의 필자들은 롤러 임프린트 장치를 시작 개발하여 전사실험을 실시하고 대면적화에 이용할 수 있는 프로세스로서 유효성을 검증하고 그 결과를 보고한 것으로 500N의 저 하중에서 100㎜ 폭의 전사에 성공하였으나 전사속도 면에서는 개선할 점이 있다고 보고하고 있다.

○ 대면적 임프린트에 관한 국내 특허 출원 분석에 의하면 (주)미뉴타텍이 열 나노임프린트 분야에서, LG전자가 UV 나노임프린트 분야에서 나노 임프린트 기술 연구의 주요 리더로 나타나고 있으나 모두 평면 기판과 몰드를 이용하는 기술로 롤러 임프린트에 대한 보고나 특허 출원은 없는 상태이다. 일본에서도 아직 연구 초기단계인 점을 감안하면 국내 기업체나 학계에서도 롤러 임프린트 방법에 관심을 가지고 개발에 참여하는 것이 바람직할 것으로 생각된다.

저자: MASAHARU TAKAHASHI
자료유형: 학술정보